- 2025-02-11 08:38:50光谱椭偏仪
- 光谱椭偏仪是一种高精度光学测量仪器,通过测量光与材料表面相互作用后的偏振状态变化,来分析材料的光学常数(如折射率、消光系数)及薄膜厚度等参数。它广泛应用于半导体、光伏、光学薄膜、材料科学等领域,可实现非接触、无损伤的快速测量。光谱椭偏仪具有测量范围广、精度高、自动化程度高等优点,是研究材料光学特性的重要工具。通过数据分析软件,用户可轻松获取测量结果并进行深入分析。
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光谱椭偏仪问答
- 2018-11-15 03:04:05光谱椭偏仪 Psi指的是什么,
511人看过
- 2022-10-08 13:38:46产品介绍Bruker FilmTek CD椭偏仪
- ——多模态临界尺寸测量和薄膜计量学 Bruker FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们解决方案,可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提供已知和完全未知结构的实时多层堆叠特性和CD测量。FilmTek CD利用多模测量技术来满足与开发和生产中复杂的半导体设计特征相关的挑战性需求。这项技术能够测量极小的线宽,在低于10纳米的范围内进行高精度测量。依赖传统椭圆偏振仪或反射仪技术的现有计量工具在实时准确解析CD测量的能力方面受到限制,需要在设备研究和开发期间生成繁琐的库。FilmTek CD通过获得多模态测量技术克服了这一限制,该技术甚至为完全未知的结构提供了单一解决方案。FilmTek CD包括具有快速、实时优化功能的专有衍射软件。实时优化允许用户以小的设置时间和配方开发轻松测量未知结构,同时避免与库生成相关的延迟和复杂度。 测量能力:·厚度、折射率和光盘计量·未知薄膜的光学常数表征·超薄膜叠层厚度·广泛的关键尺寸测量应用,包括金属栅极凹槽、高k凹槽、侧壁角、抗蚀剂高度、硬掩模高度、沟槽和接触轮廓以及间距行走 bruker椭偏仪在尔迪仪器有售,如有需要可联系上海尔迪仪器科技有限公司!拨打电话021-61552797!021-61552797!
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- 2022-09-13 11:39:37产品介绍 Bruker FilmTek CD椭偏仪
- ——多模态临界尺寸测量和薄膜计量学 FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们解决方案,可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提供已知和完全未知结构的实时多层堆叠特性和CD测量。FilmTek CD利用多模测量技术来满足与开发和生产中复杂的半导体设计特征相关的挑战性需求。这项技术能够测量极小的线宽,在低于10纳米的范围内进行高精度测量。依赖传统椭圆偏振仪或反射仪技术的现有计量工具在实时准确解析CD测量的能力方面受到限制,需要在设备研究和开发期间生成繁琐的库。FilmTek CD通过获得多模态测量技术克服了这一限制,该技术甚至为完全未知的结构提供了单一解决方案。FilmTek CD包括具有快速、实时优化功能的专有衍射软件。实时优化允许用户以小的设置时间和配方开发轻松测量未知结构,同时避免与库生成相关的延迟和复杂度。 测量能力:·厚度、折射率和光盘计量·未知薄膜的光学常数表征·超薄膜叠层厚度·广泛的关键尺寸测量应用,包括金属栅极凹槽、高k凹槽、侧壁角、抗蚀剂高度、硬掩模高度、沟槽和接触轮廓以及间距行走 Bruker FilmTek CD椭偏仪在尔迪仪器有售,如有需要可联系上海尔迪仪器科技有限公司!拨打电话021-61552797!021-61552797!
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- 2022-09-16 13:43:23产品介绍|Bruker椭偏仪FilmTek 2000 PAR
- ——用于几乎所有先进薄膜或产品晶片测量的先进多模计量FilmTek™ 2000标准杆数-SE光谱椭圆偏振仪/多角度反射仪系统结合了FilmTek技术,为从研发到生产的几乎所有薄膜测量应用提供了业界的精度、精度和多功能性。其标准的小点测量尺寸和模式识别能力使该系统成为表征图案化薄膜和产品晶片的理想选择。作为我们组合计量产品线(“标准杆数-SE”)的一部分,FilmTek 2000标准杆数-SE能够满足主流应用所需的平均厚度、分辨率和光谱范围之外的测量要求,并由标准仪器提供。它在超薄到薄膜(特别是多层堆叠中的薄膜)上提供了可重复的厚度和折射率测量。此外,与传统的椭偏仪和反射仪相比,该系统对这些样品中的不均匀性更加敏感。这是FilmTek 2000标准杆数-SE多模设计的结果,该多模设计将基于高性能旋转补偿器的光谱椭圆偏振仪与我们的多角度差分偏振测量(MADP)和差分功率谱密度(DPSD)技术、扩展/宽光谱范围DUV多角度偏振反射仪、我们抛物面镜光学设计相结合,以及先进的Filmtek软件。 允许同时确定:·多层厚度·折射率[n(λ)]·消光(吸收)系数[k(λ)]·能带隙·成分(例如,SiGex中的Ge百分比、GaxIn1-xAs中的Ga百分比、AlxGa1-xAs中的Al百分比等)·表面粗糙度·组分,空隙率·结晶度/非晶化(例如多晶硅或GeSbTe薄膜)·薄膜梯度 椭偏仪在尔迪仪器有售,如有需要可联系上海尔迪仪器科技有限公司!拨打电话021-61552797!021-61552797!
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- 2025-05-16 11:15:23光学偏心仪怎么操作
- 光学偏心仪是一种广泛应用于机械制造、精密工程及质量控制领域的测量工具,主要用于检测和校正圆形物体或工件的偏心度。准确的偏心度测量对于保证产品的精度和性能至关重要,尤其在高精度机械装配和自动化生产中,光学偏心仪的作用不可忽视。本篇文章将详细介绍光学偏心仪的操作流程,包括设备的安装、调试以及实际操作中的注意事项,帮助读者全面理解如何正确使用光学偏心仪来提高测量精度和工作效率。 光学偏心仪的基本构造与原理 光学偏心仪主要由光源、探测器、旋转平台、测量仪表等组成。其工作原理基于光学传感技术,通过测量光线在工件表面反射的变化,精确计算出偏心度。通常,光学偏心仪采用激光或LED光源作为照明设备,利用精密的光学传感器捕捉反射光,并通过与标准参照物的比对,获得偏心度的数值。 光学偏心仪的操作步骤 1. 准备工作与设备安装 在使用光学偏心仪之前,首先需要确保仪器及附件的完好。选择合适的安装位置,使得工件能够平稳放置在仪器的测量平台上。安装时需要确保设备的水平和垂直度,避免任何微小的偏差影响测量结果。 2. 校准仪器 光学偏心仪的校准是操作中的重要环节,通常需要通过已知标准的圆形工件进行校准,确保仪器的测量准确性。在校准过程中,应根据说明书中的具体步骤进行操作,确保设备与标准物的对准精确无误。 3. 调整测量参数 根据待测工件的具体规格,调节光学偏心仪的测量参数,包括光源亮度、探测器灵敏度等。确保仪器的灵敏度与工件的材料性质及反射率相匹配,以获得佳测量效果。 4. 进行测量 将待测工件放置在仪器的测量平台上,启动设备进行测量。光学偏心仪将通过反射光的变化,实时显示工件的偏心度。在测量过程中,注意观察仪器屏幕上的数据变化,必要时可对设备进行微调以确保数据的稳定性和准确性。 5. 数据分析与结果记录 测量完成后,记录下偏心度的数值,并根据需要生成报告。部分光学偏心仪还配备了数据存储和导出功能,可以方便地将结果导入计算机进行进一步分析和归档。 使用光学偏心仪的注意事项 避免振动干扰:在进行测量时,应确保工作环境的稳定性,避免震动和外界干扰,这些因素可能会影响光学偏心仪的测量精度。 保持设备清洁:光学偏心仪的光学部件容易受到灰尘或污渍的影响,因此需要定期清洁光学镜头和传感器,确保测量准确性。 合理选择工件放置位置:工件的放置位置应保持稳定,避免因放置不当而产生误差。 定期进行校准:定期校准仪器,确保其长期使用中的精度稳定。 结论 通过本文的介绍,您应该能够清楚地了解如何操作光学偏心仪,掌握其基本的操作流程与技巧。光学偏心仪作为一种高精度的测量工具,其正确使用不仅能提高工作效率,还能大幅度提升产品的制造精度。在实际应用中,务必根据具体要求进行操作,并严格遵守相关操作规范,确保测量结果的可靠性和准确性。
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