2025-01-10 10:53:44微区XPS

微区XPS（X射线光电子能谱）是一种表面分析技术，用于研究材料微区内的元素组成及化学态。该技术利用X射线激发样品表面微区内原子的内层电子，通过测量这些电子的能量分布，获得元素的种类、含量及化学结合状态信息。微区XPS具有高分辨率、高灵敏度及微区分析能力，能精确分析样品表面至几纳米深度的信息，广泛应用于材料科学、半导体研究及表面化学等领域。

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