兆声清洗技术 - 产品信息 - 相关知识

2025-01-21 09:33:41兆声清洗技术: 兆声清洗技术利用高频声波在液体中产生微小气泡，这些气泡在破裂时释放能量，有效清洗物体表面。该技术广泛应用于半导体制造、精密机械、光学元件等领域，能够去除微小颗粒、油脂等污染物。兆声清洗技术具有清洗效率高、对基材损伤小、可适用于复杂结构等优势，是现代精密制造中不可或缺的重要技术。

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兆声清洗技术原理、优势及应用

 那诺—马斯特中国有限公司 3091
2022-11-02
晶圆清洗设备兆声清洗技术兆声清洗原理

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2022-11-02 23:50:36兆声清洗技术原理、优势及应用: 1 兆声清洗技术背景Schwartzman等人，1993在SC1、SC2清洗时使用了兆频超声技术，获得前所未有的清洗效果，使得该方法在清洗工艺中被广泛采用，也引发了对超声波增强清洗效果的规律与机理的研究。1995年Busnaina的研究表明，兆频超声波去除粒子的能力与溶液的组成、粒子的大小、超声波的功率及处理时间有关。1997年Olim发现兆频超声去除粒子的效率与粒子直径的立方成正比，并由此推断兆频超声无法去除0.1μm以下的粒子。但是，兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上＜0.2μm的粒子，起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。但是，随着频率升高，声传播的效率会降低，所以兆声波清洗技术效果并不是频率越高越好。目前，一般用的频率范围是（700～1000）kHz。2 兆声波清洗原理简介声能在液体内传播时，液体会沿声传播的方向运动，形成声学流（Acousticstreaming），声学流是由声波生产的力和液体的声学阻力以及其他的气泡阻力形成的液体的流动的效果，兆声波清洗就是利用声能产生的液体流动来去除硅片表面的污染物，其原理见图1。兆声波清洗是由高频（700～1000kHz）的波长短（1.5μm左右）的高能声波推动溶液做加速运动，使溶液以加速的流体形式连续冲击硅片表面，使硅片表面的颗粒等污染物离开硅片进入溶液中，达到去除污染物的目的。随着声能的增高，表面张力会下降，这可改善浸润效果及小颗粒的浸润。而且，能量越高，声学流的速度越快，硅片表面被带走的颗粒也随之增多反应速率也会升高，这可降低反应时间，同时，也可以降低化学液的浓度。随着频率升高，空洞现象的阀值会升高，所以兆声不会像超声一样会产生气泡而损伤硅片表面。而根据超声频率的高低对应的去除污染物颗粒大小的能力，选用的频率见表1。3 兆声波清洗技术的特点（1）美国VEＲTEQ公司的M.Olesen.Y.Fan等人研究发现，兆声技术有如下特点。能大大降低边界层的厚度，使其具有清除深亚微米颗粒的能力，可满足现行工艺以及0.1μm（线宽）技术对清洗工艺的需求。有兆声时边界厚度的对比（见图2）。（2）可以极大的提高清洗效率，从图3有无兆声时的清洗效率对比图中可以看到，当兆声关闭时，用30s的时间清洗效率只能达到20%，有兆声时，只需10s的时间清洗效率就可达到99.99%。（3）由于兆声波清洗可以使用稀释倍数大的化学液，从而大大减少了化学药品的用量和消耗，降低了清洗工序的工艺成本，有效减少了化学液的污染，保护环境。图3是在极低浓度的化学液中有无兆声的清洗效果对比图。由于兆声波清洗具备以上诸多优点，因此使得兆声波清洗很快成为硅片清洗行业中广泛应用于去除微细颗粒的重要手段。4 兆声波清洗技术在清洗设备中的应用结合常规的湿法清洗工艺开发出适合相关工艺阶段的兆声清洗设备，按照这些设备的不同结构，大体可分为两类，一类是融汇在湿法清洗机兆声清洗槽或兆声漂洗槽，它们作为设备的一部分，只完成单个的清洗或漂洗过程。另一类则是以独立的设备形式出现。这就是兆声清洗机，该种设备通常配备两个槽体，一个清洗槽和一个冲洗槽，清洗槽是在兆声环境下用化学液来去除硅片表面的微细颗粒及化学污染物等，冲洗槽则是对清洗完的硅片用去离子水进行冲洗，从而达到生产需要的洁净度。但是由于兆声传播是一种介质传播，声音传播中的能量会转化成介质的动能，因此在使用兆声清洗的同时会产生兆声能量的衰减。导致能量衰减的因素，首先是兆波的反射，如图4所示。兆声能量的衰减可通过以下公式计算：衰减系数γ可表示为：γ=γ吸收+γ分散；γ分散在液体中，不在计算内。在水液体中，γ吸收系数（dB/m）=0.2F2（MHz）。由此计算可得，在频率为950kHz时，衰减度约为0.002dB/m；在频率为40kHz时，衰减度约为0.000003dB/m，在水液体中，兆声波衰减约为低频超声波衰减的1000倍，如图5所示。因此，在兆声清洗中，液位不能超过500mm。而在低频超声波中，超声波能量可传至（1.5～2）m高。安装时，石英缸底部有一定倾斜角度更利于高频兆声波的传播，由图7中角度与声压的关系可知，当θ=2°时，最有利于兆声波的传播。由于声波传播时一种介质传播，因此在不同的频率下石英缸作为传递介质，它的厚度也对兆声的传播有一定影响。通过下面公式可以计算出不同介质中声波的传播率D：从图8可见，当厚度t=3mm时，兆声波在石英中具备更好的传播率。兆声发生器在石英循环溢流槽中的安装原理见图9。5 兆声清洗技术应用领域由于兆声波能去除硅片表面的微小颗粒，并且不会对硅片表面造成损伤，近几年兆声波清洗被大量的应用在清洗工艺中。兆声波用在SC－1中，可提高去除颗粒尤其是小颗粒的效果；用在DHF，臭氧水、纯水中都能起到增强清洗效果的作用。目前兆声清洗技术被广泛应用于液晶、手机镜片、光学器件照相机镜头制造业，汽车、摩托车制造业，电子、微电子、电子电器元器件制造业，五金业、机械的零件业，航天、航空清洗精密零部件业，钟表、眼境、珠宝制造业，家电产品制造业，电镀业，铁路机车造业等各个行业。（转）具体应用涉及：带图案或不带图案的掩模版和晶圆片Ge, GaAs以及InP晶圆片清洗CMP处理后的晶圆片清洗晶圆框架上的切粒芯片清洗等离子刻蚀或光刻胶剥离后的清洗带保护膜的分划版清洗掩模版空白部位或接触部位清洗X射线及极紫外掩模版清洗光学镜头清洗ITO涂覆的显示面板清洗兆声辅助的剥离工艺

2025-01-15 12:00:16密度仪怎么清洗: 密度仪怎么清洗：保持仪器性与长久使用的关键密度仪作为实验室中常用的测量工具，其清洗和保养至关重要。清洗不当不仅会影响测量结果的准确性，还可能导致仪器故障，降低其使用寿命。本文将详细介绍密度仪的正确清洗方法和注意事项，以确保仪器始终保持佳性能。无论是常规使用还是特殊情况下的清洁，我们将为您提供全面的解决方案，帮助您维护仪器的稳定性和精度。 1. 密度仪清洗的必要性密度仪在长时间使用过程中，可能会受到液体、气体或者其他物质的污染。如果清洗不及时或清洗方法不当，残留的杂质会导致测量误差、设备磨损或腐蚀。因此，保持密度仪的清洁是确保测量准确性和延长仪器使用寿命的必要步骤。 2. 清洗步骤 2.1 断电与准备工具在开始清洗密度仪之前，首先需要确保仪器已经断电，并准备好必要的清洁工具。常用的清洁工具包括软布、无纤维擦拭纸、清洁刷和合适的清洁液。避免使用过于粗糙的物品，以免划伤仪器表面。 2.2 清洁仪器外部使用软布或无纤维擦拭纸轻轻擦拭密度仪外部，清除灰尘和杂质。此时避免使用含有强烈化学成分的清洁剂，以免损害外壳的材质。对于难以清除的污渍，可以使用少量的中性清洁剂并轻轻擦拭。 2.3 清洁探头和测量区域密度仪的探头和测量区域为关键，需特别小心处理。使用适合的清洁液（如去离子水或专用清洗剂）清洗探头表面。清洗时应避免水或液体渗入内部，确保电路部分的干燥。对于顽固的污渍，可以使用清洁刷轻轻刷洗，但要确保不会对敏感部件造成损伤。 2.4 内部清洗如果仪器内部发生污染或有固体沉积物，可以打开仪器的维修口或使用专用工具进行内部清洁。这个步骤需要由专业人员操作，避免因不当操作导致仪器损坏。 3. 清洗后的保养清洗完成后，务必检查密度仪的各个部件，确保没有松动或损坏的现象。可以使用干净的布将探头轻轻擦干，再放回仪器原位。定期进行校准和检查，确保仪器的测量精度。 4. 注意事项避免使用腐蚀性清洁剂：清洁时应避免使用含有强烈酸碱性或腐蚀性物质的清洁剂，以免损坏仪器表面。避免擦拭：过度用力擦拭可能会对仪器造成划痕或其他物理损伤，使用轻柔的手法进行清洁。定期保养：除了清洁外，定期的保养和校准是确保密度仪性能稳定的重要手段。结语通过以上方法，您可以有效地清洁密度仪，保持其精确测量的能力和长期稳定的性能。对于任何专业设备来说，良好的维护和保养不仅是提高效率的保障，也是延长设备使用寿命的关键所在。

2025-02-14 14:30:15脂肪测定仪怎么清洗: 脂肪测定仪作为健康管理中的重要工具，帮助用户测量身体脂肪含量，从而为日常饮食和运动提供科学依据。为了保证其测量精度与长期使用的稳定性，脂肪测定仪的清洗和维护显得尤为重要。本文将详细介绍脂肪测定仪清洗的正确方法及注意事项，确保您能够在使用过程中保持设备的佳状态。脂肪测定仪的清洗工作并不复杂，但需要一定的专业性与细心。我们需要区分脂肪测定仪的不同部件，常见的脂肪测定仪一般包括电极、显示屏、外壳等多个部分。每个部件的清洁方式都有所不同，不正确的清洁方法可能会对设备的性能造成影响，甚至导致测量结果的偏差。电极清洁电极是脂肪测定仪为关键的部分，它与人体皮肤直接接触，确保电极部分干净是至关重要的。使用前后，应先用柔软的干布擦拭电极表面，避免油污、灰尘及汗液等污染物积累。如果电极部位有较为顽固的污渍，可以使用轻微湿润的布进行擦拭，但要确保擦拭后完全干燥，避免电极腐蚀。显示屏清洁显示屏是脂肪测定仪的操作界面，保持屏幕清洁不仅影响操作体验，也能避免细菌滋生。清洁时，可使用微湿的布或专业的屏幕清洁布，轻轻擦拭屏幕表面。避免使用含有酒精、溶剂等化学成分的清洁剂，以免损坏屏幕保护膜。外壳清洁脂肪测定仪的外壳表面常常积累灰尘与油污，影响外观与舒适使用感。外壳清洁可以使用温和的清洁剂，避免过于的化学清洁剂。使用干净的湿布擦拭后，再用干布擦干，确保表面干爽。注意事项避免浸泡：脂肪测定仪应避免浸泡在水中，尤其是电子元件所在部分，水分进入可能损坏设备。温和清洁：清洁时应使用柔软布料和温和的清洁剂，避免划伤或腐蚀设备表面。定期保养：除了日常清洁外，还需定期检查电池与连接部件，确保设备长时间稳定使用。正确的清洁与维护不仅能延长脂肪测定仪的使用寿命，还能确保测量数据的准确性。因此，定期对设备进行科学保养，了解不同部件的清洁需求，是每一位使用者应遵守的基本原则。

2025-02-11 12:30:15牛奶分析仪怎么清洗: 牛奶分析仪是一种广泛应用于乳制品检测行业的重要仪器，它能够帮助乳品生产企业准确分析牛奶的质量成分，如脂肪、蛋白质、乳糖等。由于牛奶的成分较为复杂且含有脂肪等物质，分析仪在使用过程中容易积累污垢，影响检测精度。因此，定期对牛奶分析仪进行清洗，确保其长期稳定运作，对于提高检测准确性和延长设备使用寿命具有重要意义。本文将详细介绍牛奶分析仪的清洗方法与注意事项，帮助操作人员正确掌握清洁技巧，避免操作失误。牛奶分析仪清洗的必要性牛奶分析仪在每次检测后，都可能残留一些牛奶中的成分，特别是脂肪和蛋白质。这些残留物若不及时清洁，会随着使用时间的推移逐渐积聚，可能导致仪器测量误差，甚至损坏仪器部件。因此，保持设备的清洁是每位操作员的基本职责。牛奶分析仪清洗的步骤关闭电源，拔掉电源线：确保设备已断电，避免在清洗过程中发生电击或损坏仪器。拆卸可拆部件：根据分析仪的型号，将可拆卸的部件（如取样管、传感器、过滤器等）拆卸下来，准备进行清洗。使用温和的清洁剂：选择适用于仪器的清洁剂，避免使用强酸或强碱性清洁剂，这些可能会对设备的材料造成腐蚀。清洗仪器内部和外部：使用软布或海绵轻轻擦拭设备的外壳，确保不划伤表面；对于内部管道和仪器零部件，可以使用专门的清洗液或温水进行冲洗。消毒：部分牛奶分析仪需要定期消毒，以确保设备的卫生状态。可以使用酒精或其他合适的消毒液擦拭设备。晾干与组装：清洗完成后，确保所有部件都已晾干再重新组装，并确保没有水分残留在设备内部，防止电路受潮。测试仪器：重新启动设备进行测试，确认其清洗后的工作状态是否正常。清洗频率与维护不同型号的牛奶分析仪在清洗频率上可能有所不同。通常情况下，建议每次使用后进行简易清洁，每周或每月进行一次深度清洗与保养。定期检查设备的密封性和传感器的准确性，是确保设备长时间稳定运行的重要举措。清洗过程中需要注意的问题避免高温：清洗时避免使用过热的水，过高的温度可能对设备的传感器和电子元件造成损害。选择合适的清洁工具：使用不含硬物的清洁工具，避免刮伤设备表面，影响仪器的外观和使用寿命。定期校准：即使清洗了设备，也要定期对牛奶分析仪进行校准，确保其检测结果的准确性。正确清洁牛奶分析仪不仅能保证其检测精度，还能有效延长设备的使用寿命。在清洗时，操作人员应遵循相关操作规范，使用合适的清洁工具和清洁剂，确保仪器的性能不受损害。

2025-04-18 18:00:16粒度分析仪怎么清洗: 粒度分析仪怎么清洗粒度分析仪作为一种用于测量颗粒物质大小和分布的重要设备，其清洗和维护直接关系到测量结果的准确性和设备的使用寿命。正确的清洗方法不仅能够防止样品交叉污染，还能有效避免仪器故障和数据误差。因此，了解如何正确清洗粒度分析仪，尤其是在使用不同样品或长时间运行之后的清洁步骤，对于保证仪器性能和延长设备寿命至关重要。本文将从清洗粒度分析仪的必要性、常见的清洗方法以及注意事项三个方面进行详细阐述，帮助用户正确操作，确保测量数据的准确性和仪器的长期稳定运行。为什么需要清洗粒度分析仪？粒度分析仪用于精确测量粉末、颗粒、颗粒悬浮液等物质的粒径分布。在每次测试后，仪器内部通常会残留部分样品。这些残留物不仅可能影响到下一次的测试结果，导致交叉污染，还可能对仪器内部组件造成损害，特别是在精密仪器上，长期积累的残留物可能导致检测误差增大，甚至影响设备的正常运行。定期的清洗能够去除这些残留物，确保测量结果的准确性和仪器的持久性。粒度分析仪的清洗方法初步清洁：在每次使用后，首先应使用软布或无纤维的纸巾轻轻擦拭仪器表面，去除多余的粉尘和颗粒物，避免这些物质进入仪器的内部系统。清洁传感器和探头：粒度分析仪通常配备激光传感器、探头等敏感部件，清洁时应使用专用的刷子或气吹设备轻轻去除传感器和探头上的颗粒物。避免使用湿布或化学溶剂，以免损坏精密传感器。清洗样品舱和容器：每次测试样品后，必须彻底清洁样品舱和样品容器。可以使用温和的溶剂（如去离子水、异丙醇等）清洗，这有助于去除粘附的样品残留物。如果使用的是湿式分析仪，还应特别注意清洁和干燥流体系统，避免水分残留导致微生物滋生。深度清洁：如果仪器在长时间使用后需要进行深度清洁，可以使用专用的清洁剂对仪器内部进行彻底清洗。此时需要注意，使用的清洁剂必须是针对分析仪的材料和部件安全的，避免腐蚀或损害。定期检查和维护：除了日常的清洗工作，用户还应定期对粒度分析仪进行专业的维护检查。包括检查仪器的电气系统、数据传输系统等，确保其运行状态良好。清洗粒度分析仪时的注意事项避免使用强腐蚀性化学品：在清洗时，应避免使用可能对仪器内部零部件产生腐蚀作用的化学品，特别是对于密封性较强的设备，要使用适合的清洁剂。避免过度擦拭：对于精密仪器的表面，尤其是光学镜头和传感器部件，清洁时应避免过度擦拭，减少对表面涂层的损伤。保证彻底干燥：清洗完后，务必保证设备完全干燥，尤其是湿式分析仪。水分残留可能导致腐蚀或影响下次使用。定期校准：清洁后的仪器应进行必要的校准，确保测量结果准确无误。总结粒度分析仪的正确清洗方法对于确保测量数据的准确性和延长设备寿命至关重要。通过定期和专业的清洗，不仅能避免样品交叉污染，还能保护设备免受长期使用中的损害。每一次清洁操作都应遵循规范的步骤，选择合适的清洁剂和工具，确保仪器始终处于佳状态，从而提供准确的粒度分析结果。

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