2025-01-21 09:33:05微机电系统(MEMS)

微机电系统(MEMS)是集成了微型机械结构、传感器、执行器以及电子控制单元于一体的微型系统。它具有体积小、功耗低、集成度高、性能稳定等特点。MEMS技术广泛应用于传感器领域，如加速度计、压力传感器等，也用于执行器，如微型泵、微型阀等。此外，在医疗、航空、通信等领域也有重要应用，是现代微纳技术的重要组成部分。

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