2025-01-10 17:05:07投影光刻机
投影光刻机是半导体制造中的关键设备,用于将微小的电路图案精确转移到硅片上。它采用光学系统,将掩模版上的图案投影并缩小后,通过精确控制的光刻过程,形成硅片上的电路结构。投影光刻机具有高分辨率、高精度和高效率的特点,是制造大规模集成电路不可或缺的设备之一。其性能直接影响芯片的特征尺寸和生产良率,是现代半导体工艺技术水平的重要标志。

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