- 2025-01-21 09:31:31mirau干涉显微镜
- Mirau干涉显微镜是一种高精度测量仪器，采用Mirau干涉物镜设计，将参考光路与测量光路集成于一体，无需额外参考镜。它利用光波干涉原理，通过测量光程差来检测样品表面的微小形变和高度变化，具有高分辨率、高灵敏度及非接触测量的特点。Mirau干涉显微镜广泛应用于半导体、光学元件、材料科学等领域，用于表面形貌分析、薄膜厚度测量及应力分析等，是科研与工业生产中不可或缺的工具。
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