2025-01-21 09:33:16XPS多种表征方法

XPS（X射线光电子能谱）是一种表面分析技术，具有多种表征方法。主要包括全谱扫描，用于快速鉴定样品表面的元素种类；窄区扫描，可获得特定元素的精细能谱，分析化学态；深度剖析，通过溅射或离子刻蚀逐层去除表面材料，研究元素随深度的分布；以及角分辨XPS，通过改变光电子的出射角，探究表面不同深度的信息。这些方法共同构成了XPS强大的分析能力，使其成为材料科学、化学等领域的重要研究工具。

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