ICDT 2025 | Attolight特邀演讲报告：用于半导体和光电材料高级表征的多功能分析平台

来源：北京正通远恒科技有限公司更新时间：2025-03-27 16:15:12 阅读量：70

导读：Attolight AG致力于先进的材料科学和半导体研究，以其创新的定量阴极发光（qCL）解决方案而闻名。此次受邀参加2025国际显示技术大会（ICDT 2025），并做了演讲，演讲报告主题为：用于半导体和光电材料高级表征的多功能分析平台。

Attolight特邀演讲报告：用于半导体和光电材料高级表征的多功能分析平台

Attolight AG致力于先进的材料科学和半导体研究，以其创新的定量阴极发光（qCL）解决方案而闻名。此次受特邀参加2025年3月22-25日在厦门举办的2025国际显示技术大会（ICDT 2025），销售经理Nicolas与会做了演讲，演讲报告主题为：用于半导体和光电材料高级表征的多功能分析平台。

Nicolas Médard - ICDT

https://sidicdt.org/nd.jsp?id=1676

Allalin快速定量阴极发光系统

2025国际显示技术大会（ICDT 2025）已于2025年3月22-25日在厦门成功举办。ICDT立足于中国，面向全球，宗旨是加强显示技术国际交流与合作，提升中国显示技术及显示产业链整体水平，实现中国显示技术从跟进、同步到引领的变革。

本次ICDT大会的讨论交流主题涵盖新型显示技术领域及智能制造技术的最新进展，旨在积极推进全球范围内尤其是中国显示技术领域的研究与发展。除了18个技术主题外，还聚焦先进薄膜晶体管显示技术、AI赋能与成像显示、VR/AR/MR和元宇宙、Mini/Micro-LED和高度集成半导体信息显示、光场显示、柔性电子及其显示技术、量子点及其相关显示技术、车载显示、绿色智能制造技术9个专题。

此次大会为期4天，以 " 预见显示技术发展趋势（I see display trend）" 为主题，包括700多个报告以及20多场各具特色的精彩活动，探讨全球显示产业和技术发展趋势，推进全球尤其是中国显示产业的发展。

Attolight阴极发光CL-SEM系统在显示技术领域中的应用

在显示行业中，随着Mini/MicroLED、OLED、量子点等新型显示技术的快速发展，阴极发光扫描电镜（CL-SEM）凭借其独特的材料特性分析能力，成为研发、生产和质量控制中不可或缺的工具，Attolight CL-SEM更是其中的佼佼者：

?? GaInN/GaN多量子壳纳米线微发光二极管（MicroLED）是下一代显示设备的有力竞争者。利用CL超光谱成像技术可以对它们的发光特性进行详细表征。下图a和b展示了从顶部视角获取的结构的二次电子（SE）和全色CL强度图像。图c展示了整个图像的平均发射光谱。通过在不同波长范围（通常在发射峰附近）上积分发射强度，可以得到不同的图像（图d），称为彩色带图像，这些图像可以代表堆叠中的特定材料或一种材料的特定特性。

GaInN/GaN微型发光二极管：a）扫描电子显微镜图像，b）全色光致发光图像，c）平均发光光谱以及 d）彩色化波段光致发光图像。样品由厦门大学和明治大学的卢教授提供。

?? qCL使得在每个器件内部、器件之间以及晶圆全表面各区域之间进行比较成为可能。这种定量比较对于识别工艺变化和潜在故障具有极大的价值。它能够平滑地衔接纳米尺度和毫米尺度的器件特性，并能够高效地表征沉积工艺的均匀性、光刻工艺的质量以及器件的基本发射特性，下图为使用全晶圆qCL工具（Santis 300）获取的MicroLED阵列全晶圆图谱。qCL的使用确保了每个器件、不同器件之间、晶圆区域之间以及不同晶圆和晶圆批次之间的光强度测量结果具有可比性，这对于生产监控至关重要。

使用qCL工具（Santis 300）对MicroLED阵列强度测量所得的完整晶圆图谱

从材料研发到量产质控，阴极发光扫描电镜（CL-SEM）为显示技术的迭代升级提供了微观尺度的工具。随着Mini/MicroLED、量子点、钙钛矿等技术的突破，Attolight将持续推动显示行业向更高分辨率、更长寿命、更低能耗的目标迈进，助力“屏联万物”时代的到来。

【END】

电话：010-64415767 | 010-64448295

邮箱：info@.com

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