应用领域
材料科学
纳米结构
半导体或太阳能电池行业
生命科学
适用材料
纳米线、2D材料、纳米颗粒、电子元件、半导体、生物样品
设备参数
AFM
扫描范围 XY:22 x 22 μm (闭环)
扫描范围 Z:15 μm
成像噪声:<50pm @ 1kHz
悬臂探头:自感压阻式
测量模式:Contact, Dynamic, FIRE, MFM, C-AFM, …
SEM
电子源:热场发射
加速电压:3.5 kV – 15 kV
探头电流:5 pA – 2.5 nA(典型值为300 pA)
放大倍数:25X – 200,000X
探测器:In-Chamber SE Everhart-Thornley
样品
最大样品直径:20 mm(12 mm 关联工作模式)
最大样品高度:20 mm
最大样品重量:500 g
对齐方式:全自动
样品腔
典型腔室真空:1-10 µTorr
抽真空时长:<5 min
样品托倾斜角度:-10 °至 80°
系统
用电:200-230 VAC,50/60Hz;单相 15 A
尺寸(宽 x 长 x 高):690 x 835 x 1470 mm
重量:330 kg