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Quantum Design FusionScope 多功能材料微区原位表征系统

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Quantum Design FusionScope 多功能材料微区原位表征系统 核心参数
仪器分类: AFM
详细介绍

简单易用

FusionScope硬件和软件经过精心设计,不仅让初学者快速上手,简单易用,同时还可以定制用户界面,提供用户所需要的所有功能。


更换样品

FusionScope更换样品仅需几分钟,简单快速。


共坐标系统

利用SEM进行实时、快速、精准导航AFM针尖,从而实现AFM对感兴趣区域的精准定位与测量。无需转移样品,原位进行80° AFM与样品台同时旋转。


实时剖面准确展示AFM探针和样品相对位置

FusionScope的独特功能之一是剖面成像,即在测量时可以实时观察AFM悬臂的尖端。通过这种剖面工作方式,即使是难以到达的样品区域也可以用AFM探针非常精确地接近,从而测量形状复杂的样品。


自感应悬臂

FusionScope中的AFM采用自感应悬臂,无需光学对准即可提供所有悬臂电信号,实现对样品表面进行高质量、低噪音测量。性能优异、简单易用。自感探针可以让电子束大限度地进入悬臂和样品区域,实现AFM和SEM的无缝结合。

自感应悬臂功能也十分丰富,可以提供更多测量功能,如电导率、磁性、表面电位、温度及其他样品特征。自感应悬臂采用聚焦电子束诱导沉积(FEBID)工艺制备,尖端半径小于10 nm,保证了高分辨率导电或磁性成像,并具有出色的机械稳定性。


任务面板

FusionScope任务菜单帮助用户快速识别和执行所需的显微镜操作,并提供简单易用的向导式操作流程,帮助用户减少调整和管理硬件的时间,将更多时间用于收集样品图像和数据分析。


用户界面定制

FusionScope提供用户友好型软件界面,以满足用户或实验的需求。软件分为标准模式和高级模式,用户可根据具体需求进行个性化配置。软件支持日志功能和用户注释。


数据处理

每次实验都可以将数据自动存在在一个"experiment"文件中,确保在不同计算机之间方便进行数据转移和离线处理。在数据处理模块中,集成了第三方数据处理软件(例如用于AFM数据处理的Gwyddion软件)。


应用领域

材料科学

纳米结构

半导体或太阳能电池行业

生命科学

适用材料

纳米线、2D材料、纳米颗粒、电子元件、半导体、生物样品


设备参数

AFM

扫描范围 XY:22 x 22 μm (闭环)

扫描范围 Z:15 μm

成像噪声:<50pm @ 1kHz

悬臂探头:自感压阻式

测量模式:Contact, Dynamic, FIRE, MFM, C-AFM, …

SEM

电子源:热场发射

加速电压:3.5 kV – 15 kV

探头电流:5 pA – 2.5 nA(典型值为300 pA)

放大倍数:25X – 200,000X

探测器:In-Chamber SE Everhart-Thornley

 样品

最大样品直径:20 mm(12 mm 关联工作模式)

最大样品高度:20 mm

最大样品重量:500 g

对齐方式:全自动

样品腔

典型腔室真空:1-10 µTorr

抽真空时长:<5 min

样品托倾斜角度:-10 °至 80°

系统

用电:200-230 VAC,50/60Hz;单相 15 A

尺寸(宽 x 长 x 高):690 x 835 x 1470 mm

重量:330 kg




产品优势
FusionScope优势
★ Quantum Design自主研发的AFM和SEM成熟集成方案,自动化程度高,软件/硬件操作简单易用;

★ 多种AFM功能与SEM原位联用,极大程度上发挥出两种常用显微镜的技术优势,实现同一时间、同一样品区域和相同条件下的原位共享坐标测量,避免样品转移过程中的污染风险,特别适合环境敏感样品;

★ 多通道样品特性成像,并无缝关联到三维形貌图像中。AFM可测量的功能包括有:三维/二维表面形貌成像,力学/机械性能测量、电学测量、磁学测量;SEM配备EDS功能;

★ 利用SEM进行实时、快速、精准导航AFM针尖,从而实现AFM对感兴趣区域的精准定位与测量。无需转移样品,原位进行80° AFM与样品台同时旋转。
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