EddyCus? lab 2020 系列方块电阻测试仪样机是一款台式实验系统,它采用涡流技术,完美替代四探针方案,用于非接触式单点测量导电薄膜的金属层厚度和方块电阻。它能够快速、精确地测量最大200 x 200 mm2(8 x 8英寸)样品,并支持多种材料,包括薄金属层、晶圆和导电聚合物等材料。
非接触式单点方块电阻测试仪提供了一种现代、无接触的传统四点探头(4PP)及其他接触式测量方法的替代方案。无需物理接触,无需表面准备,且不受封装或表面粗糙度的影响。
lab 2020 系列方块电阻测试仪能够测量多个参数。方块电阻与金属层厚度、发射率和电阻率相关。只要材料性质明确,所有这些参数都可以高精度测量。
测量参数
金属厚度(nm, um)
方块电阻(Ohm/sq)
发射率
电导率/电阻率(mOhm·cm)
电各向异性(%)
重量(g/m’) 和烘干状态 (%)
渗透性(H/m) Beta
四探针传统方法对比
Mapping图
应用场景
样机设备适配参数
设备控制和软件
上海昊量光电是德国EddyCus? lab 2020 系列的中国代理商,最新引进的方块电阻测试仪样机现已开放预约!诚邀各领域研发、质检与生产单位参与体验,亲身体验非接触式测量的精准与高效。
体验时间:即日起至2026年2月10日
体验形式:寄样测试(上门测试限部分地区)
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非接触式薄膜方块电阻测试仪产品数据单
昊量光电-非接触单点方块电阻测试仪eddycus_tf_lab_2020sr.pdf
昊量光电-非接触单点方块电阻测试仪eddycus_tf_lab_4040sr.pdf
昊量光电-非接触方块电阻成像测试仪eddycus_tf_map_2525sr.pdf
昊量光电-非接触方块电阻成像测试仪eddycus_tf_map_2530sr.pdf
昊量光电-手持式方块电阻测试仪eddycus_tf_portable_1010sr.pdf
昊量光电-非接触方块电阻成像测试仪eddycus_tf_map_5050sr.pdf
在线方块电阻测试仪产品数据单
昊量光电-非接触在线方块电阻测试仪eddycus_tf_inline_sr.pdf
昊量光电-非接触在线方块电阻测试仪eddycus_tf_inline_a.pdf
昊量光电-非接触在线方块电阻测试仪eddycus_tf_inline_hf.pdf
昊量光电-非接触在线方块电阻测试仪eddycus_tf_inline_mt.pdf
昊量光电-非接触在线方块电阻测试仪eddycus_tf_inline_rm.pdf
多波长椭偏仪/膜厚测量仪产品数据单
昊量光电-Film Sense Multi-Wavelength Ellipsometers Gen3.pdf
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