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昊量213nm深紫外单纵模激光器特点

来源:上海昊量光电设备有限公司 更新时间:2025-12-20 08:45:24 阅读量:44
导读:特别是波长在213nm附近的激光,因其高能量密度和独特的光化学效应,为诸多应用带来了前所未有的可能。昊量光电新推出的213nm深紫外单纵模激光器,凭借其的性能和精巧的设计,正以前所未有的方式,拓展着深紫外激光的应用边界。

昊量213nm深紫外单纵模激光器:深耕紫外应用新维度

在精密测量、生物医学、材料加工等前沿领域,深紫外(DUV)激光器扮演着越来越重要的角色。特别是波长在213nm附近的激光,因其高能量密度和独特的光化学效应,为诸多应用带来了前所未有的可能。昊量光电新推出的213nm深紫外单纵模激光器,凭借其的性能和精巧的设计,正以前所未有的方式,拓展着深紫外激光的应用边界。


H2:213nm深紫外单纵模激光器的核心优势

不同于传统的多纵模激光器,单纵模激光器在特定波长上输出的是一个单一、纯净的纵模,这带来了几个关键性的优势,对于高精度要求的应用场景尤为重要:


  • 超高的光谱纯度: 单纵模激光器极大地减少了波长抖动,保证了输出光几乎是单一波长的。这意味着在光谱分析、精密干涉测量等应用中,能够获得更清晰、更准确的结果。
  • 优异的光束质量: 理想的单纵模激光器通常具有接近衍射极限的光束质量(M² < 1.1),光斑小而能量集中,非常有利于实现高空间分辨率的加工和聚焦。
  • 稳定的输出功率: 相比于多纵模激光器,单纵模激光器在功率稳定性(RMS < 1%)方面表现更佳,保证了实验或生产过程的连续性和可靠性。

H2:昊量213nm激光器的关键技术亮点与数据指标

昊量光电凭借深厚的技术积累,成功实现了213nm深紫外单纵模激光器的稳定运行,并集成了一系列创新设计,使其在同类产品中脱颖而出:


核心技术参数列表:


参数项目 指标/数值 说明
中心波长 213 nm ± 0.5 nm 满足深紫外区域的精密应用需求。
输出功率 10 mW - 50 mW (可定制) 适用于多种能量需求的加工与分析场景。
光谱纯度 > 99.5% 极高的光谱纯度,减少杂散光干扰。
单纵模带宽 < 0.01 cm⁻¹ 极窄的线宽,确保高分辨率。
光束质量 (M²) < 1.1 接近衍射极限,光斑小,聚焦性能优异。
功率稳定性 (RMS) < 1% (1小时内) 确保实验和生产的稳定性与重复性。
偏振比 > 100:1 高偏振度,有利于某些特定偏振敏感的应用。
激光器尺寸 紧凑型设计 (如 150x80x60 mm) 便于集成到现有设备或紧凑型系统中。
工作模式 连续(CW) 提供稳定、连续的激光输出。
预热时间 < 30分钟 快速进入稳定工作状态,提高效率。

技术亮点解读:


  • 先进的腔内倍频技术: 昊量激光器采用了高效、稳定的腔内倍频技术,将近紫外激光高效地转化为213nm的深紫外输出,并结合了特殊的腔体设计,确保了单纵模的输出特性。
  • 精密的温控与振动隔离: 深紫外激光器的性能对环境变化极为敏感。昊量激光器配备了高精度温控系统和有效的振动隔离措施,最大程度地抑制了环境因素对激光稳定性的影响。
  • 优化的光学元件: 选用特殊材料和先进镀膜工艺的光学元件,以应对213nm波长的高损耗和潜在的损伤问题,确保了激光器的长期可靠性。

H2:213nm深紫外单纵模激光器的应用前景

213nm深紫外单纵模激光器以其独特的波长和的性能,正在为以下领域注入新的活力:


  • 高精度表面处理: 在半导体晶圆、精密光学元件等领域,213nm激光可以实现超精细的刻蚀、清洗和改性,无需掩模,具有极高的灵活性和精度。
  • 生物医学成像与治疗: 该波长对许多生物分子具有强烈的吸收,可用于DNA/RNA的标记、细胞的光动力治疗、微创手术等,同时其高能量密度也为新型生物成像技术提供了可能。
  • 先进材料分析: 在激光诱导击穿光谱(LIBS)、拉曼光谱等分析技术中,213nm激光器能激发特定元素或分子的特征信号,实现更高灵敏度和分辨率的元素/分子检测。
  • 光化学研究: 213nm紫外光具有较高的光子能量,是引发多种光化学反应的理想光源,为新型材料合成、催化剂研究等基础科学研究提供了有力工具。
  • 光刻与微纳制造: 在特定应用领域,213nm激光可用于高分辨率的光刻和3D打印,制造微小结构。

昊量213nm深紫外单纵模激光器,不仅是技术的进步,更是为科研和产业界打开了深紫外应用的新篇章。其高纯度、高稳定性、高光束质量的特性,正驱动着各个领域的创新与发展。


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