工业检测领域再迎技术革新!S lynx 2全新升级版正式发布,以 「更好、更快、更智能」 为核心,融合尖端光学技术与自动化工具,为3D光学计量学树立新标杆。无论面对光滑、阶梯状还是粗糙表面,它都能以亚纳米级精度轻松应对。
一.技术跨越:ePSI算法开启亚纳米时代
本次升级的核心亮点是全新 ePSI干涉算法 的加入。这项技术突破带来三大革命性提升:
1.精度跃迁:测量噪声低至 0.1 nm(亚纳米级),堪称超光滑表面检测的解决方案
2.复杂表面征服者:对具有台阶或局部倾斜的样品实现无失真成像
3.抗干扰升级:彻底消除传统干涉测量中的条纹噪声与相位突变问题
二.智能进化:自动化程序模块(APM)重塑工作流
全新设计的APM模块让复杂检测流程变得前所未有的简单:
1.配方革命:
单测量配方(SMR):一键保存全参数配置
多测量配方(MMR):在多个位置自动复现扫描程
2.效率倍增:
减少90%人工干预
批量检测一致性提升200%
3.场景适配:特别适用于图案化晶圆、重复质检等高频任务
三.全能:多技术融合的精密引擎
S lynx 2的紧凑机身蕴藏惊人能量:
1.技术矩阵:同时集成 多焦面叠加、共聚焦、干涉测量(含CSI与ePSI)
2.智能切换:系统自动匹配最佳技术方案,彻底告别手动调参
3.性能铁三角:
速度 – 毫秒级响应
精度 – 亚纳米级误差
兼容性 – 全表面类型通吃
四.为什么选择升级版S lynx 2?
1.航天级精度:0.1 nm分辨率满足最严苛标准
2.智能减负:APM模块让操作员专注价值决策
3.未来兼容:开放式架构支持后续功能扩展
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