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行业资讯 | Sensofar S lynx 2 重磅升级!ePSI算法+智能APM模块,重新定义光学测量精度

来源:北京仪光科技有限公司 更新时间:2025-11-20 13:40:34 阅读量:87
导读:工业检测领域再迎技术革新!S lynx 2全新升级版正式发布,以 「更好、更快、更智能」 为核心,融合尖端光学技术与自动化工具,为3D光学计量学树立新标杆。

工业检测领域再迎技术革新!S lynx 2全新升级版正式发布,以 「更好、更快、更智能」 为核心,融合尖端光学技术与自动化工具,为3D光学计量学树立新标杆。无论面对光滑、阶梯状还是粗糙表面,它都能以亚纳米级精度轻松应对。

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一.技术跨越:ePSI算法开启亚纳米时代

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本次升级的核心亮点是全新 ePSI干涉算法 的加入。这项技术突破带来三大革命性提升:

1.精度跃迁:测量噪声低至 0.1 nm(亚纳米级),堪称超光滑表面检测的解决方案

2.复杂表面征服者:对具有台阶或局部倾斜的样品实现无失真成像

3.抗干扰升级:彻底消除传统干涉测量中的条纹噪声与相位突变问题


二.智能进化:自动化程序模块(APM)重塑工作流

全新设计的APM模块让复杂检测流程变得前所未有的简单:

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1.配方革命:

单测量配方(SMR):一键保存全参数配置

多测量配方(MMR):在多个位置自动复现扫描程

2.效率倍增:

减少90%人工干预

批量检测一致性提升200%

3.场景适配:特别适用于图案化晶圆、重复质检等高频任务


三.全能:多技术融合的精密引擎

S lynx 2的紧凑机身蕴藏惊人能量:

1.技术矩阵:同时集成 多焦面叠加、共聚焦、干涉测量(含CSI与ePSI)

2.智能切换:系统自动匹配最佳技术方案,彻底告别手动调参

3.性能铁三角:

速度 – 毫秒级响应

精度 – 亚纳米级误差

兼容性 – 全表面类型通吃


四.为什么选择升级版S lynx 2?

1.航天级精度:0.1 nm分辨率满足最严苛标准

2.智能减负:APM模块让操作员专注价值决策

3.未来兼容:开放式架构支持后续功能扩展

标签: 三维共聚焦白光干涉仪   西班牙sensofar   r三维共聚焦白光干涉仪

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