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1859年克希霍夫和本生为了研究金属的光谱，设计和制造了一种完善的分光装置，这个装置就是世界上第一台实用的光谱仪器，研究火焰、 电火花中各种金属的谱线，从而建立了光谱分析的初步基础
1882年，罗兰发明了凹面光栅 ，凹面光栅的问世不仅简化了光谱仪。
1928年以后，光谱分析成了工业的分析方法，光谱仪得到迅速的发展
1958年我国开始试制光谱仪器，第一台中型石英摄谱仪问世
1963年北京光学仪器厂研制光栅刻化成功
1972年由北京第二光学仪器厂研究成功国内第一台WZG —200平面
1995年以德国斯派克为首，推出了第二代全谱CCD技术光电直读光谱仪
END
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