科普生 氮氢空一体机NHA-300特点

NHA-300是科普生推出的一款氮氢空一体气源管理设备，将氮气、氢气与空气以高精度混合方式输出，满足实验室、科研和工业现场的多工艺需求。设备以模块化设计为核心，具备稳定的气路控制、友好的用户界面以及完善的安全保护，适用于薄膜沉积、表面改性、热处理、化学气相沉积等工艺环节，对气体 purity、混合比稳定性和工艺重复性有严格要求的场景尤为合适。

主要型号与参数要点

• 标准型号与定位
• NHA-300 标准版：全面性气源混合与输出，适合日常工艺需求和多工艺切换场景
• NHA-300C 高纯氢版：在氢气纯度与稳定性方面进一步增强，适合对氢气比例敏感的工艺
• NHA-300S 便携版：紧凑机身、重量减轻，适合桌面布置与小规模试验
• 气源组成与纯度
• 氮气：纯度99.999%（5N），流量0-150 L/min
• 氢气：纯度99.999%（5N），流量0-20 L/min
• 空气：经干燥净化后输出，流量0-150 L/min
• 混合与控制
• 气体混合比设定范围：0-100%任意比，能实现任意三组气源的组合
• 输出稳定性：漂移±0.2%以内，60分钟内保持
• 输出压力：0.2-1.0 MPa可调，若工艺需要可设定特定上限
• 流量及设定误差：读数误差≤±1%
• 控制与数据
• 人机界面：7英寸彩色触摸屏，直观显示当前工艺参数
• 数据记录与导出：支持最近12个月运行数据本地存储与CSV导出
• 通信协议：Modbus TCP/IP、OPC UA，方便与上位机或工艺管控系统对接
• 电源与能耗：单相230 VAC，50/60 Hz，功耗约350 W
• 安全与维护
• 氢泄漏检测与报警联动，遇异常自动停止气源输出
• 双阀分离、紧急停机设计，具备防爆外壳等级
• 模块化结构，日常维护更换零部件便捷，降低停机时间
• 外形与安装
• 尺寸大约420×380×420 mm，重量约22 kg
• 安装方式：桌面式或落地式结构，便于在多工位布设
• 同系列差异要点
• NHA-300C在氢源与混合稳定性方面提升幅度较大，适合需要高氢环境的工艺
• NHA-300S强调轻便与低能耗，便于在狭小空间或移动场景部署

应用场景要点 适用领域覆盖薄膜沉积、表面镀膜、热处理前置气氛保护、化学气相沉积中的气体前驱体供给、离子刻蚀与材料改性等环节。通过对氮氢空气三元气源的控制，能够实现工艺窗口的稳定性提升、批间重复性减小以及材料性能的一致性优化。设备的接口与协议设计，使其易于与现有工艺控制系统对接，便于实现全流程数据追溯与工艺优化。

场景化FAQ

• NHA-300适用于哪些工艺条件？在需要严格控制氮、氢与空气混气比例的薄膜沉积、气相反应和表面处理场景内，能够提供稳定的混合气流和可重复的工艺环境，降低因气体波动带来的工艺偏差。
• 如何确保氢气安全性？设备内置氢泄漏探测、自动断气与紧急停机功能，外壳防爆设计，工作区域配套通风与泄漏监控，日常维护时应检查泄漏传感器与阀门状态。
• 如何与现有工艺系统对接？支持Modbus TCP/IP和OPC UA，现场可通过上位机设置混合比、输出压力和输出流量，并实现数据采集与报警集成。
• 日常维护应关注哪些点？定期检查气路密封、阀门状态和过滤单元，关注传感器校准与触摸屏界面的响应速度，定期导出运行日志以便工艺分析。
• 数据记录与合规性如何保障？设备内置时序日志，包含配比设定、实际输出、压力温度等关键参数，支持导出CSV用于溯源和审计。
• 设备能否在不同电源条件下运行？支持广泛输入电源范围，常用配置为单相230 VAC，具体电源适配请根据现场供电条件选择型号与选项。

整体而言，NHA-300系列以高纯度气源、灵活的混合能力、稳定的输出性能和完善的安全保护为核心，适配从研发实验室到中试放大再到工业应用的多场景需求。其数据化、模块化与易集成的特性，使气体配比和工艺条件的可重复性成为实现工艺优化的基础之一。若需要更具体的参数表、现场布线方案或定制化选项，可以提供工艺工况与现有系统接口要求，我们可以据此给出匹配方案。