科普生 氮氢空一体机NHA-300参数

科普生 氮氢空一体机NHA-300参数

产品定位与核心优势

这款NHA-300是科普生推出的氮氢空三合一气体供应单元，专为实验室、科研机构和工业体系的气体需求设计。通过单一设备实现氮气、氢气与空气的稳定供应与控制，节省空间、简化管路、降低维护成本。系统内置多路独立调压与流量监控，能在不同工艺点提供气体配比，兼容多种沉积、惰性保护、清洗和气氛控制场景。

主要参数与型号

• 型号：NHA-300
• 气体组合：氮气、氢气、空气三联供，单机集中控制
• 气体纯度：N2≥99.999%，H2≥99.995%，空气经净化后组分稳定性高
• 流量范围：N2 0–50 L/min；H2 0–20 L/min；空气 0–30 L/min
• 供电与功耗：220 VAC，50/60 Hz，最大功率约1.6 kW
• 工作环境：温度10–40°C，相对湿度20–80%（无冷凝）
• 尺寸与重量：约600×700×1550 mm，重量约140 kg
• 气源接口：6路1/4" NPT或等效KF接口，配有快速接头选项
• 安全与合规：具氢泄漏探测、过压/过流保护、紧急停止；符合CE、RoHS与IP54等级
• 控制与通讯：自诊断PLC控制，7"触控屏，具以太网、Modbus等接口，支持数据记录
• 维护与更换：滤芯与阀件的更换周期通常为12个月，提供全套备件与服务包

结构、接口与可扩展性

• 外观结构采用紧凑模块化设计，背部提供集中排气与电缆管理通道
• 气路与气源接口标识清晰，便于在现有工艺腔体之间接入
• 兼容大多数薄膜沉积、热处理与分析仪器的气体需求，支持按工艺自定义流量曲线

核心功能与应用价值

• 三合一系统，单机实现多路独立控制，减少设备台面占用和管路错接风险
• 智能自诊断与故障码显示，维护时效性提升
• 实时流量、压力、纯度监控，数据可导出，用于工艺追踪与质量控制
• 安全机制完备：氢气泄漏检测、自动切换保护、紧急停机等，降低潜在风险

典型使用场景

• 高纯度惰性保护：氮气用于惰性封隔，减少氧化与水分引入
• 氢气反应与还原工艺：在受控压力与流量下进行氢化、气相还原等过程
• 薄膜沉积与清洗：提供稳定气氛，保证薄膜均匀性与清洗效果
• 粗略或中等规模的气体配比实验，将不同工艺点所需气体统一管理

场景化FAQ

Q: NHA-300适用于哪些工艺？ A: 适用于需要氮气保护、氢气参与反应以及空气辅助的多工艺场景，如CVD、PVD、热处理及化学清洗等。 Q: 氢气安全如何保障？ A: 内置氢气泄漏传感器、极限压力保护、紧急停止按钮，以及自动故障隔离和报警功能，系统还具密闭回路设计以降低泄漏扩散。 Q: 如何进行日常维护？ A: 按周期更换前后级过滤器、定期检查管路密封和连接件、监控传感器状态，保修期内优先提供备件。 Q: 是否支持远程监控与数据导出？ A: 支持以太网接口与Modbus通讯，现场与远程监控结合，数据日志可导出CSV/Excel。 Q: 当气体纯度下降时应该怎样处理？ A: 先进行自检并核对前端过滤芯与密封件，若需，联系厂家进行滤芯更换与系统自校准。 Q: 有无节能模式？ A: 设备具备智能流量管理，可在低工况下优化输出，降低能耗并保持工艺稳定。

购买与支持信息

• 包含安装调试、培训和一年质保；可根据现有工艺需求提供定制化方案与件件选型
• 联系方式与技术支持请通过科普生官方网站的产品页获取，或直接联系区域销售经理