可替代进口的国产质量流量控制器

在制造与科研领域，气体流量的精准控制直接决定着芯片良率、电池性能、生物药效乃至能源效率。长期以来，中国半导体、新能源、生物制药等关键产业的气体质量流量控制器（MFC）高度依赖进口品牌，不仅面临供应风险，更承受着高昂成本与技术的双重压力。在中美科技竞争加剧、产业链自主可控上升为国家战略的今天，发展国产高性能MFC已刻不容缓。在这一背景下，陕西易度智能科技有限公司依托自主研发的层流压差核心技术，推出了全系列气体质量流量计与控制器，为中国制造业提供了可替代进口的高可靠性解决方案。

突破垄断：层流压差技术的自主突围

易度智能的层流压差技术从根本上革新了气体流量控制模式。不同于传统热式流量计依赖气体热属性进行间接测量的方式，该技术通过精密层流元件将湍流气体转化为规则的层流状态，利用高灵敏度压差传感器直接测量层流元件两端的压力差。结合内置温度与压力传感器的实时动态补偿，直接将工况流量转化为标况质量流量。这一原理性突破使产品摆脱了对“预热”的依赖，实现开机即用，响应速度低于500ms，在-20℃~60℃的宽温域及1MPa压力环境下保持稳定运行。

相较于国际品牌的主流热式MFC，易度的层流压差技术展现出三大差异化优势：

抗成分波动性：热式MFC的测量精度易受气体热容变化影响，当燃料气源成分波动时极易产生偏差；而层流压差式主要依赖气体粘性参数，对成分变化不敏感，在燃烧控制、混合配气等场景中优势显著；

物理级响应速度：压力波传播速度高达340m/s，结合微流道设计与低惯性传感，信号采集最快可达1ms，远超热式原理的毫秒级瓶颈5；

免标定适配能力：内置70余种气体数据库，支持混气比例自主编辑，切换气体时无需人工转换系数或重新标定。这一特性在需要频繁切换工艺气体的半导体光刻与刻蚀环节价值尤为凸显。

性能对标：精度与可靠性的较量

在核心参数上，易度智能的EC/SC系列MFC已实现对国际品牌的全面对标：

精度与重复性：测量精度达±0.5%设定值，重复性±0.1%F.S.，与欧美一线产品处于同一水平；

环境适应性：采用金属密封壳体与316L不锈钢流道，在电磁干扰、腐蚀性气体、振动环境中保持长期稳定性，解决了国产设备“实验室能用、工厂不能用”的痛点；

复杂工况补偿：通过温度压力实时补偿算法，在-20℃~60℃介质温度范围内维持精度，克服了传统设备在低温环境下的漂移问题。

更关键的是，易度产品在半导体制造场景验证了其替代能力。公司专门建立百级洁净生产线，其MFC已在国产光刻机、刻蚀机的多家头部设备商中批量应用。在晶圆加工过程中，气体流量0.1秒的延迟就可能导致薄膜厚度不均甚至整批报废，而易度控制器的毫秒级响应为芯片良率提供了“隐形保障”。

多元布局：国产流量控制的场景化革新

针对不同行业需求，易度智能构建了完整的国产替代产品矩阵：

SC系列：配备触控屏，实时显示温度、压力、流量等参数，±0.5%设定值精度满足实验室高精度标定需求；

EC系列：取消屏幕设计强化工业抗扰性，标配RS485通讯，专为原子镀膜设备、精细化工生产线等工业系统优化；

P系列便携式：内置电池支持15小时续航，解决环保现场检测、移动校准等场景痛点。

在氢能领域，EC400系列凭借其对氢气的高精度控制能力，成为电解制氢装备的核心部件；在生物反应器中，其无菌环境兼容性保障了细胞培养气体的稳定输送；在环保监测端，更以快速动态响应实现对VOCs排放的实时监控。这种全场景覆盖能力，使国产MFC摆脱了“单一替代品”的定位，进化为适配中国制造体系的核心元器件。

易度智能的层流压差技术体系，不仅标志着国产MFC实现了从“技术可用”到“技术好用” 的关键跨越，更在半导体装备、氢能制备等国家战略产业中注入了自主可控的“流量之芯”。当中国半导体的每一次“呼吸”、新能源的每一缕“脉搏”都被国产传感器精准掌控，制造业的供应链安全才真正筑牢根基——这不再只是流量的测量，更是对中国制造命脉的守护。