国产气体流量控制器技术发展

       陕西易度智能科技有限公司成立于2015年，总部位于西安经济技术开发区。公司专注于气体质量流量计与质量流量控制器的研发、制造，是国内极少数掌握层流压差式核心技术的企业之一。

       公司的核心研发团队以西北工业大学的博士后、博士为骨干，凭借在微流量测控领域的深厚积累，致力于解决精密制造中的“卡脖子”技术问题。

        技术路线与产品优势

       易度智能坚持走层流压差式这一差异化技术路线，其产品相较于传统的热式原理产品，具有显著优势，实现了从“技术可用”到“技术好用”的跨越。

高精度与高稳定性：基于层流物理原理，产品具有优异的测量重复性和长期稳定性。部分高精度型号的测量误差可控制在±0.5%读数以内。

开机即用，响应迅速：无需像热式仪表那样长时间预热，可实现“开机即测”。同时响应速度极快，可达毫秒级，能满足半导体工艺中快速切换的需求。

强大的介质兼容性：产品流道可采用耐腐蚀材料，内置超过70种气体数据库，能兼容从普通惰性气体到特种腐蚀性气体的广泛介质。

智能与便捷：部分系列产品配备了触摸屏，用户可直接在设备上设定参数、切换气体、查看多种实时数据，极大简化了操作。

       主要应用领域

       凭借上述技术优势，易度智能的产品在多个对气体控制要求严苛的领域发挥关键作用：

半导体制造：这是其核心应用战场。产品用于光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键工艺，精准控制特种工艺气体的流量，直接影响芯片的良品率。公司为此建立了百级洁净生产线。

新材料与新能源：在化学气相沉积、原子层沉积等镀膜涂层工艺中，确保反应气体的精确配比。此外，也广泛应用于燃料电池的研发与测试领域。

科研与仪器：在高校实验室、科研院所中，其高精度和易用性深受青睐，用于各类需要精密气路控制的实验装置。

环境监测与工业安全：便携式手持质量流量计可用于大气采样器的现场校准；固定式产品也可用于气体分析仪、报警仪等设备的流量监控。

        国产化价值与行业贡献

       易度智能的成长是我国在该领域实现国产化替代的缩影。其产品已在国内多家头部半导体设备商的机台中实现批量应用，助力国产核心装备突破瓶颈。

       公司还积极参与行业标准建设，参与了国家《层流流量计检定规程》的制定工作，推动行业规范化发展。

       陕西易度智能科技有限公司是一家以底层技术创新为驱动力的高科技制造企业。它通过深耕层流压差式技术，成功打破了国外垄断，为半导体、新能源、科研等关键领域提供了高精度、高可靠性的气体流量测控解决方案，成为中国精密制造产业链中重要的一环。