半导体混酸检测暗藏哪些玄机丨质量实验室检测混酸的注意事项有哪些？

目录

一

什么是混酸？ 

二

质量实验室如何检测混酸？

三

小结

一、什么是混酸？

“混酸” 是将两种或多种不同性质的酸类试剂按特定比例精准混合，通过科学配比实现化学特性的协同效应的功能型湿化学品。

在Fab厂中，将单酸混配可实现 1+1>2 的效果，如硝酸（HNO?）将硅表面氧化为二氧化硅，氢氟酸（HF）专门溶解二氧化硅，两者按比例混合形成 “氧化 - 刻蚀” 协同效应，使刻蚀制程的速率与选择性远超单酸。

作为清洗、刻蚀等核心制程的关键材料，混酸在集成电路刻蚀、清洗等工艺中至关重要，其组分比例与纯度的细微偏差都会影响芯片精度、良率与成本。因此，晶圆厂中通常会在厂务混配端与质量实验室分别进行在线与离线检测，以确保制程稳定与产品质量。

Fab厂中酸液混配通常由中心厂务执行，并通过PLC系统实时监控pH、电导率、温度等参数；部分厂根据布局由本地配置承担少量混配，满足区域即时需求。  

因混酸成分比例对制程影响重大，Fab厂对混配精度要求极高。的数字称重模块可精准控制酸液添加量，使混配的误差控制在极小范围；InPro 电极采用耐氢氟酸玻璃材质，可实时监测输送管道等多个关键点位中混酸的pH值。整套方案与自动化系统联动，实现混酸自动化操作，既减少人工误差，又提升效率。

二、质量实验室如何检测混酸？

电位滴定法得益于其高检测精度在实验室中被广泛应用于湿化学品浓度测试，通过酸碱中和反应的电位突变确定混酸的有效浓度；此外，还会以密度和折光率等物理参数确保混酸符合严苛的生产要求。混酸中各酸在水中的电离能力及混酸配方存在差异，我们在滴定混酸中往往会遇到如混酸的滴定缺失等当点，滴定结果重复性很差的各种各样的问题。

那么混酸滴定到底该怎么做才能得到正确的结果？

对于电子化学品的其他参数，如水分含量、密度、pH电导等等参数，也能够提供检测方案，尤其是对于各项仪器设备的联用，能够提供更加智能的解决方案，如天平和滴定仪的联用，确保称量数据直接传输的Smart Sample功能。

天平和滴定仪的联用方案

实验室分析仪器产品汇总

三、小结

混酸凭借精准蚀刻与高效清洁能力，为半导体制程奠定基础，其回收再利用可显著降低成本、提升效率，是推动半导体产业化发展的核心要素，对保障芯片良率与集成电路技术进步意义重大。从28nm到3nm，芯片制程突破均依赖混酸配方迭代，如EUV光刻后的多层膜刻蚀，需全新混酸体系应对复杂材料堆叠。面对半导体与功能湿化学品的快速发展，我们将持续提供创新方案，助力企业突破技术瓶颈，实现制程精进与良率提升。