氦质谱检漏仪散热器检漏

氦质谱检漏仪散热器检漏
上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 成功应用于散热器检漏系统, 检漏系统采用喷氦法测试, 节省氦气, 测量准, 智能自动. 依据散热器尺寸, 每次检测 2 - 4个产品, 单次检漏约1分钟. 实现散热器及其组件的泄漏测试.


散热器检漏系统流程
1. 产品抽真空
2. 腔体抽真空
3. 产品充氦
4. 开始检漏
5. 取漏率值
6. 检漏后, 抽产品内氦气
7. 如有大漏, 氮气吹扫腔体
8. 如无大漏. 检漏完必

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