KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列 资料
- 上传人: 北京燕京电子有限公司 |大小:772.2KB|浏览:1383次|时间:1970-01-01
- 文档简介
- 相关产品
- 您可能感兴趣的资料
-
法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统
-
微流控芯片紫外检测仪的研制及性能考察*
-
微量注射泵在微流控芯片上的应用
-
液滴微流控芯片系统产品样册
-
微流控芯片实验室
-
恒温扩增微流控芯片核酸分析仪产品样册
-
Dolomite微流控芯片成功用于高通量单细胞RNA-Seq
-
微流控芯片夹具PRO 4515产品手册详细介绍了PRO 4515夹具的应用及规格参数
-
CorSolutions PDMS微流控芯片打孔器,可以在PDMS芯片上实现快速、方便又极ng确的打孔。此款
-
Epoxym ™微流控芯片环氧树脂模具制作工具套装来自Eden-microfluidics,是专门用于微流控
法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理Zda直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其Z小分辨率可达2μm,Zda发散角小于2°
本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
标签: