光栅基本原理【上】
- 上传人: 青岛森泉光电有限公司 |大小:260.37KB|浏览:786次|时间:2020-09-07
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目前,大部分的衍射光栅产品均由母版复制而成,母版制备工艺主要有精密机械刻划、可离子束增强的全息制版,另外也有一些诸如半导体光刻等新的科技手段。
光栅方程
一个典型的衍射光栅包括基底(通常为光学材料),其表面通过加工形成的大量平行凹槽,以及表面镀有的铝膜等反射膜构成。凹槽的质量和间距是光栅参数的关键指标。若假定光栅表面与其刻划方向正交的部分是锯齿型,可以导出光栅基本方程。
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