- 招标单位:清华大学 招标成功
- 招标编号:清设招第2017200号
- 仪器网 2017-11-30 16:39:06点击 43 次
- 【清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统中标公告】,招标项目内容包括【电感耦合等离子增强化学气相沉积系统】,中标单位为【牛津仪器科技(上海)有限公司】。
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清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统项目(项目编号:清设招第2017200号) 组织评标工作已经结束,现将评标结果公示如下:
一、项目信息
项目编号:清设招第2017200号
项目名称:清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统
项目联系人:杨 晶,李美珍
联系方式:62785713
二、采购单位信息
采购单位名称:清华大学
采购单位地址:清华大学实验室与设备处老环境楼101C办公室
采购单位联系方式:杨 晶,李美珍, 62785713
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:
该设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体,在半导体衬底(例如硅半导体、化合物半导体)或有机衬底上沉积高质量的介质薄膜(氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy薄膜)等。
四、中标信息
招标公告日期:2017年11月08日
中标日期:2017年11月30日
总中标金额:220.0 万元(人民币)
中标供应商名称、联系地址及中标金额:
中 标 人:牛津仪器科技(上海)有限公司
地 址:上海市徐汇区虹漕路461号60号楼1层
中标金额:2,200,000.00元人民币
评标委员会成员名单:
刁宏伟、张大成、于中尧、魏清泉(前述专家均为自选专家)、王谦
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:
标的名称:电感耦合等离子增强化学气相沉积系统
数量:1套,
单价:2,200,000.00元人民币
五、其它补充事宜
第1包招标项目:
编号 产品名称 品牌型号 数量/单位 价格 中标单位 中标金额 1 电感耦合等离子增强化学气相沉积系统 无 1 220.0 万元 牛津仪器科技(上海)有限公司 220.0 万元