清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统采购中标公告

　　“清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统”项目(项目编号：清设招第2018290号) 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：

　　一、项目信息

　　项目编号：清设招第2018290号

　　项目名称：清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统

　　项目联系人：李美珍，杨 晶

　　联系方式：62785713

　　二、采购单位信息

　　采购单位名称：清华大学

　　采购单位地址：清华大学实验室与设备处老环境楼101C办公室

　　采购单位联系方式：联 系 人：李美珍 ，杨 晶;联系电话：62785713

　　三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

　　通过感应耦合方式产生高密度等离子体，在半导体衬底或有机衬底上沉积高质量的介质薄膜，包括：氧化硅、氮化硅、氮氧硅薄膜等。

　　四、中标信息

　　招标公告日期：2018年12月29日

　　中标日期：2019年01月23日

　　总中标金额：219.0 万元(人民币)

　　中标供应商名称、联系地址及中标金额：

　　中 标 人：安科瑞泰科技(北京)有限公司

　　地 址：北京市海淀区农大南路2号楼2层B-206-1

　　中标金额：219万元人民币

　　本项目招标代理费总金额：0.0 万元(人民币)

　　本项目招标代理费收费标准：

　　无

　　评标委员会成员名单：

　　刁宏伟、缪旻、徐菊、刘磊(前述专家均为自选专家)、王谦

　　中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

　　电感耦合等离子增强化学气相沉积系统1套。

第1包招标项目：