苏州大学真空热蒸发镀膜机系统采购项目公开招标公告

一、项目名称： 真空热蒸发镀膜机系统

二、招标编号：S2016188

三、招标人：苏州大学国有资产与实验室管理处

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：215021 传真：0512-67165076

联系人：罗老师 电话：0512-67504198，67504359

电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn

技术联系人：邓老师　　电话：18915539299

电子邮箱：zdeng@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

真空热蒸发镀膜机系统　　1套

(一)主要技术参数

1.不锈钢真空室，在手套箱一侧采用侧开门，能方便装夹样品以及蒸发源，带玻璃观察窗，含防污挡板，真空室内外表面电解抛光处理。

2.样品盘尺寸：大于120×120mm，能方便加装掩膜板及掩膜板切换;

3.极限真空度：优于1×10-5Pa;

4.抽气时间：大气压～9×10E-5Pa，小于50min;

5.基片架旋转加热：实现0×30转/分连续可调旋转，基片加热温度不小于300°C;

6.基片与蒸发源距离连续可调，且室外设置有调距指示装置;

7.蒸发：有机蒸发电极2对，配备2套进口原装2KW控制电源;金属蒸发源3套，配备2KW蒸发电源，带数显;

8.真空系统：机械泵与分子泵组成的真空抽气系统,主阀采用超高真空气动插板阀;

9.数显复合真空计(含全金属电阻规和电离规各一个);

10.含国际知名品牌膜厚仪一套;

11.报警保护系统：对泵、电极等缺水，过流过压，断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

(二)主要配置清单如下

1.蒸发室

1.1蒸发真空室1只，尺寸根据设计要求适当调整;

1.2蒸发电极5对：2对有机束源炉，3对金属，各源配独立电动挡板，避免交叉污染;

1.3蒸发电源5套：其中2套有机蒸发电源带温控，进口，控温精度1度，3套金属蒸发电源，数显电流控制;

1.4转动基片架1套：基片旋转，步进电机+磁流体，样品台加热;

1.5升降装置1套：基片升降,带距离显示;

1.6照明及烘烤1套：真空室外烘烤;

2.真空系统：超高真空主阀1只，分子泵1台，机械泵1台;

3.安装机台：设备机架1套(含喷塑面板及不锈钢台面);电气控制柜1个(19英寸标准机柜);

4.真空测量：数显复合真空计1台，量程：1.0E5～1.0E-6Pa;金属裸规1批，全金属规管，法兰接口;

5.膜厚测量1套，含水冷探头等;

6.其他：水冷机、辅助配件及其他1批。

(三)质保期至少1年。

五、评分标准：

本次招标采用综合评分法，总分为100分,具体内容如下：

1.技术参数及整体综合性能(50分)

1.1技术参数(35分)

投标人需提供反映该产品技术参数的测试报告或产品说明书等作为评标依据，否则视为偏离。

1.1.1所投标产品多项参数偏离招标要求，或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效投标。

1.1.2所投产品不满足招标文件技术条款要求的(偏离)、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣2分。

1.2综合性能情况(15分)

1.2.1所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况(评委会认为超出指标有意义的)(8分)。其中优于功能要求的每处加1分。

1.2.2所投产品的市场反馈情况(7分)。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率(同行业为主)、现有用户的反馈情况等综合评定。

2.价格分(35分)

2.1评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分。

2.2其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分=(评标基准价/投标报价)×35分。

3.综合商务(15分)

3.1售后与培训服务(3分)。根据投标人在苏州周边地区有无服务网点及其数量、服务响应时间以及现有用户服务反馈情况等综合评定。

3.2质保期(3分)。质保期符合招标要求的得1分，每增加1年加1分。

3.3投标人综合实力(3分)。根据投标人的注册资本、公司成立年限与员工数、投标人的资质与证书等综合评定。

3.4财务状况(1分)。

3.5标书质量(2分)。根据投标文件的规范性、完整性等综合评定。

3.6其他优惠措施(3分)。根据是否提供招标文件要求范围以外，评标委员会认可的具体而实在的优惠措施等综合评定。

六、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照 《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》 第21条中的要求执行。

七、招标文件价格：人民币300元(可投标时交纳)，售后不退。

八、投标报名截止时间：2017年1月10日12：00。投标报名要求：

(一)在报名截止时间前将投标确认函(格式见附件)送达或传真至招标人处;

(二)未在苏州大学仪器设备供应商库 http://gysk.suda.edu.cn 注册的供应商，请在报名截止时间之前完成注册。

九、投标截止时间： 2017 年1 月17 日9 ：30 。各投标人在投标前，须认真阅读 《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》 和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求。并在截止时间之前将投标文件 一式 8 份 (其中正本1份，副本7份)送达招标人处。

十、开标时间：2017年1月17日9：30。

十一、未尽事宜，按 《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》 中的相关条款执行。

投标确认函.doc