清华大学等离子体刻蚀机招标公告

　　项目编号：清设招第2022044号

　　项目名称：清华大学等离子体刻蚀机采购项目

　　一、采购需求：

　　等离子体刻蚀机1套，预算金额：165万元，国产。

　　设备用途介绍 ：该等离子体刻蚀机用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆，从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。

　　简要技术指标 ：

　　真空系统：★分子泵抽速≥1300L/s，干泵抽速≥100m3/h;

　　下电极：★满足8英寸样品刻蚀需要，更小样品或碎片可贴片装载;

　　软件和控制系统：★自主版权的软件，windows操作系统软件;

　　机台工艺能力：★主要用于刻蚀薄膜铌酸锂材料、介质材料等。

　　合同履行期限：合同签订后6个月内交货

　　本项目( 不接受 )联合体投标。

　　二、申请人的资格要求：

　　1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

　　2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

　　扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等

　　3.本项目的特定资格要求：1)在中华人民共和国境内注册;2)符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件;3)通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)和中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询信用记录(截止时点为投标截止时间)，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动;4)不接受联合体投标;5)单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动;6)为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动;7)必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。

　　三、获取招标文件

　　时间：2022年03月29日 至 2022年04月06日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至16:30。(北京时间，法定节假日除外)

　　地点：发售网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn

　　方式：本项目招标文件网上发售，潜在投标人在线提供申请材料，经审核通过后获取电子版招标文件

　　售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

　　四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

　　提交投标文件截止时间：2022年04月19日 09点00分(北京时间);

　　开标时间：2022年04月19日 09点00分(北京时间);

　　地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第一评标室(清华大学东南门东侧，无须办理入校手续)。

　　五、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

　　1.采购人信息

　　名 称：清华大学

　　地址：北京市海淀区清华大学

　　联系方式：李春艳 010-62795196

　　2.项目联系方式

　　项目联系人：李春艳

　　电　话：010-62795196