- 招标单位:清华大学
- 招标产品:等离子清洗机,电子束刻蚀系统,其它激光仪器
- 招标编号:清设招第20230349号（0873-2301HW3L0527）
- 仪器网 2023-12-27 15:55:40 点击 72 次
- 【预算4850万 清华大学采购等离子清洗机】，招标编码为【清设招第20230349号（0873-2301HW3L0527）】，招标项目内容包括【硅深刻蚀系统（压电材料用）、等离子清洗机（后道）、通用等离子体去胶机、硅深刻蚀系统、激光玻璃加工设备】，投标截止到【2024-01-17 13:20】，欢迎合格的供应商前来投标
-
近日，清华大学通用等离子体去胶机、等离子清洗机(后道)、硅深刻蚀系统、硅深刻蚀系统(压电材料用)和激光玻璃加工设备采购项目进行公开招标，招标项目的潜在投标人应在北京市海淀区文慧园北路10号，中教仪总公司北师大办公楼509室获取招标文件，欢迎合格的供应商前来投标。
一、项目基本情况
项目编号：清设招第20230325号(0873-2301HW3L0518)
项目名称：清华大学通用等离子体去胶机采购项目
采购需求：
通用等离子体去胶机采购1套，预算金额：450万元，国产，该设备应用于去除光刻胶;湿法刻蚀前的晶圆清洁;刻蚀钝化层;键合、打线前的表面清洁和活化。
项目编号：清设招第20230328号(0873-2301HW3L0525)
项目名称：清华大学等离子清洗机(后道)采购项目
采购需求：
等离子清洗机(后道)采购1套，预算金额：200万元，允许进口，该设备应用于MEMS器件以及集成封装工艺。具体工艺应用如下: 1,MEMS器件金属Pad等离子清洗; 2， 集成封装工艺，焊盘、引线框架等离子清洗。
项目编号：清设招第20230345号(0873-2301HW3L0526)
项目名称：清华大学硅深刻蚀系统采购项目
采购需求：
硅深刻蚀系统采购1套，预算金额：1500万元，最高限价：1100万元，国产，硅深刻蚀系统应用于微纳加工过程中的深刻蚀工艺。此系统包括两个工艺模块，硅深刻蚀模块采用博世(Bosch) 工艺，用以实现可控高精度、高选择比和高深宽比的硅深结构刻蚀;硬掩模刻蚀模块用于深刻蚀工艺中硬掩模的刻蚀图形化，以及其他介质材料的干法刻蚀。
项目编号：清设招第20230349号(0873-2301HW3L0527)
项目名称：清华大学硅深刻蚀系统(压电材料用)采购项目
采购需求：
硅深刻蚀系统(压电材料用)采购1套，预算金额：1500万元，允许进口，硅深刻蚀系统(压电材料用)应用于微纳加工工艺研制研发过程中的硅基深刻蚀工艺，采用博世(Bosch)工艺，用以实现可控高精度、高选择比和高深宽比的硅深刻蚀功能。
项目编号：清设招第20230353号(0873-2301HW3L0528)
项目名称：清华大学激光玻璃加工设备采购项目
采购需求：
激光玻璃加工设备采购1套，预算金额：1200万元，最高限价：950万元，国产，激光玻璃加工设备主要用于玻璃通孔(TGV)转接板的刻蚀工艺。激光玻璃加工设备能够满足清华大学高技术实验室教学科研需求，是支撑先进集成工艺的必需设备。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、获取招标文件
时间：2023年12月27日 至 2024年01月04日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至16:00。(北京时间，法定节假日除外)
地点：北京市海淀区文慧园北路10号，中教仪总公司北师大办公楼509室
方式：建议采用汇款形式进行报名，请按本公告“其他补充事宜”所述账户信息汇款(不接受个人账户汇款)，请您在本公告页面最下方附件自行下载“报名登记表”填写，将报名登记表(word文本形式)、汇款底单、法定代表人授权书 (加盖公章的彩色PDF扫描件)、被授权人身份证复印件(加盖公章的彩色PDF扫描件)一起发送至xiejie59893114@126.com;文件售价500元/包，文件售后不退。
为避免人员聚集，建议采用汇款方式报名。也可以按公告所述时间于工作日进行现场报名，到场前也应提前发送报名登记表(word文本形式)至指定邮箱备案，现场报名人员须携带：
(1)法定代表人授权书原件(须加盖公章)。
(2)被授权人身份证原件及复印件(须加盖公章)。
(3)报名登记表详见公告附件(请事先下载填好并打印)。
三、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
开标时间：2024年01月17日 12点40分(北京时间)(清设招第20230325号);
开标时间：2024年01月17日 12点50分(北京时间)(清设招第20230328号);
开标时间：2024年01月17日 13点00分(北京时间)(清设招第20230345号);
开标时间：2024年01月17日 13点10分(北京时间)(清设招第20230349号);
开标时间：2024年01月17日 13点20分(北京时间)(清设招第20230353号);
地点：北京市海淀区文慧园北路10号，中教仪总公司北师大办公楼4层会议室。
四、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：清华大学
地址：北京市海淀区清华大学
联系方式：肖老师010-62780052
2.采购代理机构信息
名 称：北京中教仪国际招标代理有限公司
地 址：北京市海淀区文慧园北路10号，中教仪总公司
联系方式：谢杰、刘欣、杜健、李兴达 010-59893114、59893122、59893131
3.项目联系方式
项目联系人：谢杰、蒋旭、韩寿国、杨硕、刘欣、陈清、杨轶
电 话：010-59893114、010-59893131、010-59893122
欲了解更多资讯,查看官方招标公告>>>
预算4850万 清华大学采购等离子清洗机
清华大学（Tsinghua University），简称清华，由中华人民共和国教育部直属，中央直管副部级建制，位列“211工程”、“985工程”，入选”珠峰计划“、”2011计划“、”111计划“、”卓越工程师教育培养计划“、”卓越法律人才教育培养计划“、”卓越医生教育培养计划“，为九校联盟、东亚研究型大学协会、环太平洋大学联盟、清华大学—剑桥大学—麻省理工学院低碳能源大学联盟成员。 清华大学诞生于1911年，依托美国退还的部分“庚子赔款”建立，因北京西北郊的清华园而得名，初称“清华学堂”，是清政府设立的留美预备学校，翌年更名为“清华学校”；为尝试人才的本地培养，1925年设立大学部，1928年更名为“国立清华大学”；1937年抗日战争爆发后，学校南迁长沙，与北京大学、南开大学联合组建“国立长沙临时大学”；1938年迁至昆明，改名为“国立西南联合大学”；1946年迁回清华园，1952年成为一所多科性工业大学；改革开放以来，学校先后恢复或新建了理科、经济、管理和文科类学科，并成立了研究生院和继续教育学院。 清华大学是中国乃至亚洲最著名的高等学府之一，在长达百年的办学历史中，2位共和国主席、7位中央政治局常委、14名两弹一星获得者、600余名院士从这里走出，王国维、梁启超、陈寅恪、赵元任等一大批学术巨匠曾在此执教，恰如清华园工字殿内对联所书——“槛外山光，历春夏秋冬、万千变幻，都非凡境；窗中云影，任东西南北、去来澹荡，洵是仙居”
