半导体检查显微镜MX61L
能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。
半导体／FPD检查显微镜MX61L
半导体／FPD检查显微镜MX61L
观察影像实例
晶圆（明视场观察） 晶圆（暗视场观察）
晶圆（微分干涉观察） 彩色滤色片（透射观察）
半导体／FPD检查显微镜 MX61L 规格 | |||
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | ||
机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明装置 | 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） | ||
照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | |
透射照明 | 纤维光导 | ||
对焦单元 | 电动/手动 | 手动 | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微调灵敏度 | 微调旋钮转动1周移动0.1 mm | ||
最大样本高度 | 30 mm | ||
物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 | |
手动式 | - | ||
载物台 | 行程 | 14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范围356×284 mm） | |
观察筒 | 广角视场（视场数22） | 倒置 | 双目/三目观察筒 |
正像 | 三目观察筒 | ||
超宽视场（视场数26.5） | 倒置 | 三目观察筒 | |
正像 | 倾斜三目观察筒 | ||
附件单元 | DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 | ||
外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合） | ||
重量 | 51 kg（标准组合） | ||
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