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半导体检查显微镜MX61L

销售范围售全国

入驻年限第8年

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产品特点

半导体检查显微镜MX61L切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。

半导体检查显微镜MX61L

能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）

应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。

半导体／FPD检查显微镜MX61L

观察影像实例

晶圆（明视场观察）晶圆（暗视场观察）

晶圆（微分干涉观察）彩色滤色片（透射观察）

半导体／FPD检查显微镜 MX61L 规格
光学系统			UIS2光学系统（无限远校正）
机身	观察方法		明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
	反射/透射		反射/透射
	照明装置		机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）
	照明系统	反射照明	100 W卤素/100 W水银/75 W氙
		透射照明	纤维光导
	对焦单元	电动/手动	手动
		行程	32 mm
		分辨率/微调灵敏度	微调旋钮转动1周移动0.1 mm
		最大样本高度	30 mm
	物镜转换器	电动型	明视场微分干涉6孔明暗视场微分干涉5孔明暗视场微分干涉6孔明暗视场微分干涉中心输出5孔
		手动式	-
载物台	行程		14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范围356×284 mm）
观察筒	广角视场（视场数22）	倒置	双目/三目观察筒
		正像	三目观察筒
	超宽视场（视场数26.5）	倒置	三目观察筒
		正像	倾斜三目观察筒
附件单元			DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸			710（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合）
重量			51 kg（标准组合）