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日本 Olympus 奥林巴斯 半导体检查显微镜 MX61L

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产品特点

半导体检查显微镜MX61L切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。

详细介绍

 

能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)

应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。

半导体/FPD检查显微镜MX61L

半导体/FPD检查显微镜MX61L

观察影像实例

晶圆(明视场观察)   晶圆(暗视场观察)

晶圆(微分干涉观察)        彩色滤色片(透射观察)

 

半导体/FPD检查显微镜 MX61L 规格

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)  

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型(明视场,暗视场+1选件)

照明系统

反射照明

100   W卤素/100 W水银/75 W

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32   mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

最大样本高度

30   mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6
 
明暗视场微分干涉5
 
明暗视场微分干涉6
 
明暗视场微分干涉中心输出5

手动式

-

载物台

行程

14×12 英寸右下手柄:356X)×305Ymm(透射照明范围356×284 mm

观察筒

广角视场(视场数22

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场(视场数26.5

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710W)×843D)×507Hmm(标准组合)  

重量

51   kg(标准组合)

 


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