奥林巴斯半导体检测显微镜MX61L / MX61

产品介绍：

半导体检测显微镜MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，优秀的光学系统保证了卓 越的图像分辨率和鲜明度。向您推荐的最 好的半导体检测显微镜。

在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。

前面板
[1] 照明强度旋钮
[2] 物镜倍率切换
[3] 孔径光阑调节

观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

倾斜镜筒示意图

为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284 mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。

内置离合器的载物台手柄