美国TMC/TMC

“遮阳帘”式缩回前面板比铰链门更容易操作，并且在调节时产生的干扰较小。

拼接平台技术确保了多个顶部之间的平整度。 接合板是一组经过精密磨削的、厚20毫米（0.75英寸）的配套钢材，带有一套定位销，用于保持对齐。

除高负荷应用外，高承重量CleanBench还可用于zhong心异常高的y效载荷和带有移动平台的设备。这些应用受益于更高的稳定性。

OOL-Base是带有内部气动振动控制系统的理想工具，提供一个稳定和坚硬的平台，以支持振动敏感的工具。

PEPS®II改进并以TMC的PEPS®（精密电子定位系统）为基础。 通过添加新的数字控制器，PEPS®II更易于使用，提供更多的功能，并具有改进的用户界面。

STACIS®4是**的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先进的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS ...

STACIS 4 builds on the advanced architecture of previous generations by adding advanced control algo...

TMC 用于OEM集成的Micro-g隔振器 TMC气动隔振系统是追求高隔振性能的超精密仪器的工具设计师的shou选解决方案。TMC现在提供行业标准的GimbalPiston®、MaxDamp®和U...

TMC 用于OEM检测、光刻和计量工具的内部隔振器Stage-Base 450 TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 45...

TMC的光学平台和隔振系统采用全钢结构，具有市场上zui高的芯密度和zui小的蜂窝单元面积，可提供业界首选的性能和刚性。

TOOL-Base是一种先jin的主动压电地面减振平台，用于超精密仪器和机械设备。 它适用于比典型的商业扫描电子显微镜（SEM）更大或更重的仪器，而且设备有高度限制。 TOOL-Base不...

全钢结构。 热稳定性。 CleanTop 全钢结构确保材料具有相同的热膨胀系数，从而确保最佳的热稳定性。

多年来，TMC为我们的设备制造商客户提供了定制的隔音罩。这些外壳经过严格的工程设计，特别适合于要隔离的特定工具。 于是用户不得不为自己的独特应用设计自己的隔音罩。考虑到所涉及的设计水平，这是不切...

气浮支撑或刚性支撑可选 超大尺寸钢制可调平底板，提高平整度调节 可调平底板是标准配置，可选配纯底板

采用STACISZL技术 采用可扩展的压电陶瓷致动器 负载的位置可重复性在微米范围内 可安装的框架设计 6个隔振自由度 可选的音圈电机前馈或反馈 主动隔振从0.6 Hz开始 快速的调节时...

硬式装载技术 SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统， 从 0.6Hz 开始主动QL消减地面低频振动。 主动惯性振动消除 SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度...