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详细介绍
StacisIIIC是TMC的基于标准StacisIII设计研发的主动压电振动消除系统的紧凑小型版本。它在降低高度时具有同样出色的隔振性能。
在没有或非常低振动的地板面情况下，Stacis III是**的选择，但有时标准Stacis III系统的高度会使电镜设备的总高度过高。
在由3个隔振器组成的配置中，隔振器高度比标准Stacis III高度低大约60%。在具有多余3个隔振器的系统中，高度将介于60%和70%之间，具体取决于有效负载。详情请参见以下规格。
模拟VC-C(500uin./s, 12.5 um/s RMS)振动测试，有效负载为4500lb(2045kg)
产品优势
1.与标准的Stacis III系统相比，在不降低性能的情况下，隔振器高度降低了42%。
2.对于承载能力，Stacis比空气隔振器高近百倍，并且无需任何气源。与主动空气系统不同，Stacis可以放置在具有内部主动空气隔离系统的工具底部，两个系统都完全兼容。
3.独特的结构设计和ZL性高压压电陶瓷技术。
2.对于承载能力，Stacis比空气隔振器高近百倍，并且无需任何气源。与主动空气系统不同，Stacis可以放置在具有内部主动空气隔离系统的工具底部，两个系统都完全兼容。
3.独特的结构设计和ZL性高压压电陶瓷技术。
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