美国AST光谱反射薄膜分析仪SR300

· 型号：SR300

· 探测器： 2048像素的CCD线阵列

· 光源：高稳定性、长寿命的卤素灯

· 光传送方式：光纤

· 台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量、200mmx200mm的大小

· 软件： TFProbe 2.2版本的软件

· 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

· 测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率 

· 电脑硬件要求：P3以上、zuidi50 MB的空间

· 电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A

· 保修：一年的整机及零备件保修

选项

1用于传递和吸收测量的传动夹具(SR300RT) )

2.zuidi可测量直径为5μm(MSP300)

3. 在多个位置下，多个通道用于同时测量(SR300xX)

4. 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM300-300/200）

规格： 

· 波长范围：400到1100 nm

· 光斑尺寸：500μm至5mm

· 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm

· 基板尺寸：最多可至50毫米厚

· 测量厚度范围：20nm到50μm

· 测量时间：最快2毫秒 

· 精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）

· 重复性误差：小于1Ǻ

应用:                  

•半导体制造（PR，Oxide, Nitride..) 

•液晶显示（ITO，PR，cell gap... ..） 

•医学，生物薄膜及材料领域等

•油墨，矿物学，颜料，墨粉

•医药，中间设备

•光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. 

•半导体化合物

•在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

•非晶体，纳米材料和结晶硅

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