激光干涉仪

Verifire™ XL 激光干涉仪是一个独立的工作站，设计用于直径达12英寸（300毫米）的大型平面的简单可靠计量。示例包括前表面反射器，窗口和半导体晶片或晶片卡盘。

斐索型激光干涉仪，具有QPSI测量模式，能够在振 动环境中检测，真正的共光路面形计量干涉仪。

ZeGage™ Plus 激光干涉仪是用于3D形貌定量测试，和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。

ZYGO的Verifire™ MST激光干涉仪通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法，可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。