半导体用减压器

Pα-HMB精密气体减压器。单级膜片式设计；中等压力输入，低压大流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量1000L/min。

Pα-MB精密气体减压器。单级膜片式设计；低压输入，低压大流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量500L/min。

Pα-BB精密气体减压器。单级膜片式设计；低压输入，低压大流量输出，输出压力稳定；用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量1000L/min。

Pα-1B精密气体减压器。单级膜片式设计；低压输入，低压中等流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量100L/min。

Pα-HB精密气体减压器。单级膜片式设计；中等压力输入，低压中等流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量200L/min。

Pα-HH精密气体减压器。单级膜片式设计；高压输入，高压中等流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量250L/min。

Pα-2H精密气体减压器。双级膜片式设计；中等压力输入，低压标准流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量25L/min。

Pα-1L精密气体减压器。单级膜片式设计；低压输入，低压标准流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量20L/min。

Pα-1H精密气体减压器。单级膜片式设计；中等压力输入，低压标准流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量60L/min。