详细介绍
RX 3000/睿芯3000（自动分选机）
1、 System Capability
XY Placement: ±50μm
Angular Placement: ±5°
2、 Material Hand领 Capability
Die Size: 7mil×7mil-200mil×200mil
3、 Facilities Required
Voltage: 220VAC
Frequency: 50Hz
Compressed Air: Min.5 bar
Flow rate: 250LPM@5 bar
Power Consumption: -1500W
4、 Dimension
Weight； 2000kg
W×D×H: 2300×1500×1800mm
产品优势
支持脆弱芯片取放，可处理薄至50微米厚度的芯片；
附加AOI功能，更省人工；
支持多种载具（蓝膜、芯片盒等）自动点数芯片，确保芯片分选极ng准GX；
支持12寸晶圆分选。
附加AOI功能，更省人工；
支持多种载具（蓝膜、芯片盒等）自动点数芯片，确保芯片分选极ng准GX；
支持12寸晶圆分选。
