阴极荧光SEM-CL在半导体金刚石方面的应用

       由于金刚石的非凡性能，如极高的硬度，化学惰性，光学透明度，高导热性以及电绝缘，越来越多的应用领域认识到这种材料提供的好处。特别是在涉及极高功率密度、高机械负荷或恶劣磨料条件的应用中，金刚石通常是满足这种苛刻要求的材料。金刚石在许多领域都有应用，包括:

1、高功率电子器件:金刚石的特殊电子特性使其成为二极管和hemt等高功率器件最可靠的候选者。

2、量子信息:氮基空位中心可用作单光子源。

3、MEMS和生物MEMS:金刚石是一种很有前途的单独寻址电极阵列材料。

4、光学，热和机械应用:红外窗口和透镜。

5、电化学应用:电极和生化传感器。

6、辐射传感器:电离辐射探测器/剂量计和荧光束监测仪。

      阴极发光是半导体物理研究中的关键技术之一。它的应用领域从分析半导体中的缺陷分布到表征这类材料的电性能。这些研究对提高生长参数和设计大功率电子器件具有重要的意义。Attolight CL系统的特点开辟了一个新的研究领域:

a、delta结构的完整表征:具有高达10纳米的空间分辨率，这是研究半导体量子阱的强大工具之一。

b、载流子动力学的完整研究:电荷载流子寿命在时间分辨模式下测量。

c、加入掺杂剂:Attolight CL系统可以在深紫外和高达20 K下工作，这意味着满足了观察金刚石中激子光谱的良好条件。

d、界面分析:由于高空间分辨率和纳米定位阶段，可以获得界面的线形和映射。