日本电子株式会社（代表取締役社長兼COO 大井 泉）宣布新型场发射扫描电子显微镜 JSM-IT800 于2020年5月开始销售。

开发背景

       扫描电子显微镜广泛用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学、生物学等各种领域，从基础研究到工厂的品质管理等越来越多的用途在扩展。设备具有高清晰图像的数据采集和简便的元素分析的需求很高。

       新开发的 JSM-IT800 具备高分辨观察和高速元素面分析，能够满足客户的各种需求。该装置配备浸没式肖特基场发射电子枪、新一代电子光学控制系统 Neo Engine、一体化 EDS、易用的操作导航「SEM Center」及可置换的物镜模块。

       物镜有混合物镜（HL version）和超级混合物镜（SHL version）。SHL 物镜标配高位检测器 UHD，能采集到高 S/N的图像，很容易进行观察。还配备背散射电子检测器，闪烁体背散射电子检测器 SBED 和多用途背散射电子检测器 VBED。SBED 检测器响应性好，适合低加速电压下材料衬度像的采集；VBED 适合 3D、凹凸及材料衬度像的采集。

主要特点

1.   浸没式schott-plus场发射电子枪

       电子枪与低像差聚光透镜结合实现了高亮度。即使低加速电压下也能获得充足的入射电流(100nA@5kv),不需要切换物镜就能进行高分辨观察、高速元素面分析、EBSD分析、软X射线分析。

2.  Neo Engine（New Electron Optical Engine）

       配备本公司电子光学技术精华的新一代电子光学控制系统。即使条件变更时也可以进行稳定的观察。另外，自动功能等的易用性也大幅度提高了。

3.  SEM Center / EDS一体化

       操作导航“SEM Center”与本公司生产的EDS进行了全面集成，更易于操作。此外，还配备了帮助初学者进行电镜操作的小型导航系统(可选)，以及便于实时图像观察的 Live - AI (Live Image Visual Enhancer-AI)过滤器(可选)。

4.  HL（Hybrid Lens）和 SHL（Super Hybrid Lens）

       以电磁场重叠型物镜为基础设定了2种物镜，可以按客户的需求选择。这样磁性材料、绝缘材料等各种样品都能观察和分析。

5.  高位检测器 UHD （Upper Hybrid Detector）

       SHL物镜里标配高位检测器，大大地提高了样品产生的电子检测率，能够采集到高S/N的图像。

6.  新型背散射电子检测器

       闪烁体背散射电子检测器（SBED、选配件）响应性能优越，适用于低加速电压下材料衬度像的采集。多用途背散射电子检测器（VBED、选配件）适用于3D、凹凸等特色图像的采集。