超高分辨热场发射扫描电子显微镜

仪器简介：

JSM-7600F是日本电子株式会社2008年下半年推出的兼顾冷场的高分辨率和热场大束流为一体的热场发射扫描电镜，它几乎集成了当今扫描电镜的全部前沿技术，最大200nA的大电流在保证高分辨率的同时，得到高速样品分析结果，空间分辨率极高，对导电性差的样品也有很多解决办法。JSM-7600F自动化程度高，操作直观方便，可以称得上是一款次的场发射扫描电镜。详情请咨询日本电子株式会社各地事务所。

技术参数：

1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.3nm(1kV)
2.加速电压：0.1KV-30kV
3.放大倍数：25-100万倍
4.样品室尺寸：最大200mm直径样品
5.束流强度：1pA到200nA

主要特点：

1. 长寿命高亮度电子枪,寿命保3年,最大电流400nA以上

2. 兼顾超高分辨和大电流

3. 无漏磁和半漏磁物镜可切换

4. 标配的五轴马达驱动全对中样品台

5. 全自动样品更换气锁

6. 全自动样品台监控系统

7. 全自动物镜光阑

8. 多通道显示系统

9. 减速系统标准配置

10. 能量过滤器标准配置

11. 可以选配1.5nm高分辨LABE背散射电子探头

12. 可以选配扫描投射探头（STEM）