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InTouchScope™ 热场发射扫描电子显微镜 JSM-IT700HR 发布
—日常使用的SEM、好用—
日本电子株式会社(代表取締役社長兼COO 大井 泉)宣布：高通量新型扫描电子显微镜JSM-IT700HR于2020年8月开始全球销售。
【开发背景】
扫描电子显微镜广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域，从基础研究到工厂的品质管理等用途也在不断地扩展。不仅以研究为目的，快速高清晰图像的数据采集和更简便的元素分析的需求很高。 随着技术的不断创新，观察的样品也越来越小，微小样品的测定已经常态化。 基于此，浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。
该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA（是之前的15倍），可提供丰富的观测和分析信息。 用户界面操作简单，设计紧凑，配备大样品室和更好的防震台，实现了从【能见】-【易见】的转变。 在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能，实时了解在测样品的分析深度（参考），有效用于元素分析中。
该机种有低真空观察型JSM-IT700HR/LV和低真空观察分析型 JSM-IT700HR/LA两种型号。
【主要特点】
1. 浸没式热场发射电子枪，可实现高清晰图像观察和高空间分辨率分析
2. Zeromag功能，可实现快速的视野搜索
3. Live Analysis功能，实现高效元素分析
4. 信号深度显示功能，可实时了解样品的分析深度
5. SMILE VIEWTM Lab，易于生成从观察到分析的所有数据报告
6. 样品更换导航使样品更换更安全简便
7. 电子束自动对中可使电子光学条件维持最 佳状态
8. 大开门样品室可对应各种形状和大小的样品观察和分析
日常使用的SEM，好用！
随着技术的不断创新，观察的样品也越来越小，微小样品的测定已经常态化。 基于此，浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。
该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA（之前的15倍），可提供丰富的观测和分析信息，用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。
■ Zeromag & Autofunctions
放大光学图像，无缝过渡到SEM图像
Zeromag具有将样品台图像、光学像和SEM像联动的功能，样品台上有多个样品和观察特定区域时，很容易搜寻视野。
※若显示光学像，需要选件样品台导航系统SNS
■ Integrated EDS & Live Analysis
一体化EDS和实时分析
SEM操作界面上有EDS分析操作，观察分析无障碍。Live Analysis具有实时显示特征X线谱图功能。
■ SMILE VIEW™ Lab
快速生成数据报告
JEOL独有的数据管理工具。 光学像、SEM像、EDS分析结果一并保存。报告书一键生成。
也可以离线解析※1。
※1 需要离线分析软件 ※2 需要安装Microsoft®Office
■ 信号深度显示
在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能，实时了解在测样品的分析深度（参考），有效用于元素分析中。
■ 自动电子束对中 (ABA)
电子束的轴偏离时，自动调整对中功能
■ 用蒙太奇功能进行广域观察与分析
蒙太奇结果 6x6（左：背散射电子像、右：Cu元素map像 ）
样品：黄铜螺钉的平面刻蚀横截面*、 加速电压：20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像：6.4 mm × 4.8 mm
*机械研磨后、用IB-19530CP进行平面刻蚀加工
蒙太奇就是一种拼接功能，能够将广域内采集到的所有图像拼接成一个高清图像。
此功能对于获取大面积详细信息非常有用。
