详细介绍
ETD-900C是一款具有溅射和蒸发两种功能的镀膜设备，由一台ETD900型溅射仪和一个蒸发电源箱及样品室蒸发上盖组成，由电缆将两个机箱中的控制部件连接起来，通过面板上的按键状态，经溅射机箱中的CPU判别操作项，以确定允许与否（具体操作见说明书）。设备使用简便，性能可靠，蒸发材料为碳绳，溅射材料为金、铂等。
型号 | ETD-900c |
仪器尺寸 | 400mm×300mm×400mm（L×W×H） |
靶（上部电极） | 50mm×0.1mm（D×H） |
真空样品室 | 硼硅酸盐玻璃160mm×110mm（D×H） |
样品台 | 50mm(D) |
工作电压 | 0-1200V(DC)可调 |
溅射电流 | 0-50mA |
溅射定时 | 1-3600S |
蒸碳电流 | 0-50A(AC) |
真空泵 | 2升机械旋转泵 |
