WLI LA 白光干涉仪
德国BMT WLI LA 白光干涉仪比使用显微物镜的设备可测面积大得多，同时具有非常高的数值孔径。非常适于平整度测量。
特点：
● 表面轮廓和平整度测量；
● 粗糙和光滑表面均可测量；
● 测量不受颜色和材料影响；
● 数秒内完成测量；
● 测量范围大。
技术参数：
适用于较大面积平面的表面结构形状测量
测量头
● 光源 LED
● 测量范围 （μm) 100/150
● 垂直分辨率（nm） ≥1
● 横向分辨率（μm） 30
● 测量面积 （mm） 14×10
● 工作距离 （mm) 24
● 数码相机＜14位（Pixel） 1392×1040
