RTP-滑动式快速退火炉 核心参数
| 仪器分类: | 坩埚炉 |
详细介绍
产品应用：
该系列电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速升降温。应用在半导体、纳米技术、碳纤维、石墨烯生长等新型材料工艺领域。
也同样适用于要求升降温速度比较快的气氛烧结、真空淬火退火及CVD等工艺实验。
产品特点：
气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权ZG设计,提高操作便捷性；炉体自带超温保护及漏电保护功能，确保设备使用的安全性；
合理的气路支架装置，杜绝了气路总成因自身应力而造成的炉管损坏；炉体移动自动化且有滑动限位功能，避免炉体碰撞;风冷设计，使样品实现快速降温。
产品名称 | RTP系列-滑动式快速退火炉 |
产品型号 | RTP-G06123K-H |
额定功率 | 9KW |
额定电压 | 220AC 50/60Hz |
最高温度 | 1000℃ |
连续工作 | 950℃(<1 小时) |
加热区长度 | 250mm |
恒温区长度 | 200mm |
加热元件 | 红外灯管 |
温度控制 | 国产程序控温系统可编程50段程序控温； |
控制精度 | ±1℃ |
石英管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100mm |
炉管材质 | 石英管 |
滑动距离 | 300mm |
最大降温速度 | 900~200℃的降温速度:15min |
最快升温速度 | 50ºC/S |
滑动控制 | 由温度控制器自动控制炉体移动. 当程序完成，炉体按设定的速度滑动。 |
流量计 | 浮子流量计60-600ml/min |
滑轨尺寸 | 360 x1300x265mm |
外形尺寸 | 360x385x595mm |
重量 | 85Kg |
标准配置 | 气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、石英堵三个、钩子一把、高温手套一副。 |
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