RTP-小型快速退火炉 核心参数
| 仪器分类: | 坩埚炉 |
详细介绍
产品应用：
该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、
快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验
产品特点：
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，
温控精度高,最大升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。
产品名称 | RTP-小型快速退火炉 |
产品型号 | RTP-G11103-K |
额定功率 | 9KW |
额定电压 | 220AC 50/60Hz |
最高温度 | 1000°C |
连续工作 | 950°C(<1 小时) |
加热区长度 | 300mm |
恒温区长度 | 100mm |
加热元件 | 红外灯管 |
温度控制 | 国产程序控温系统可编程50段程序控温； |
控制精度 | ±1℃ |
石英管尺寸 | Φ110*380MM |
炉管材质 | 石英管 |
滑动距离 | 355mm |
滑动方式 | 手动滑动 |
建议升温速度 | 室温900℃：30℃/sec |
外形尺寸 | 950 X 350 X 530 mm |
重量 | 45Kg |
标准配置 | 气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。 |
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