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直播回放 | Helios 5 Laser PFIB新品发布会答疑汇总
发布:赛默飞化学分析仪器浏览次数:297“Helios 5 Laser PFIB新品 发布会”
直播答疑汇总
Q:Zda样品尺寸是多少?
可达1-2mm。
Q:Laser的损伤层大致多少呢?
约在十几个到100多个纳米,跟材料种类相关。与所加工的体积相比已经很小。激光加工以后可以直接用SEM和EBSD完成分析。
Q:现有的H5 PFIB,能否升级Laser?
Helios G4 PFIB可以升级添加Laser。
Q:切割的精度是多少?
切割精度优于250纳米,具体精度跟材料相关。
Q:Laser的Z小加工线宽是多少?
大约10-15微米,跟材料相关。
Q:激光的分辨率是多少?
激光束斑约10-15微米,但是激光不能用来成像,只可切割 。
Q:Laser 与SEM夹角多少度?
大约60度。
Q:大面积的加工会不会很影响真空度?
不会影响,刻蚀出来的材料量跟样品舱体积相比非常小。
Q:Stage两个正负倾转可以倾转到样品表面垂直于FIB和Laser吗?
样品台可以正负倾转,可以使得样品表面与FIB束垂直,通过预倾斜的样品托可以使样品表面与Laser垂直。
Q:及时加了屏蔽,污染会不会很严重?
屏蔽器可以保护样品室内敏感部件。我们有测试系统,使用该技术多年,工作状态良好。
Q:Laser镜头能成像吗?效果怎么样?
不能成像。
Q:Laser有没有类似FIB离子源的激光源耗材吗?
只有保护物镜的覆盖条(玻璃板),很便宜,更换很容易。
Q:飞秒激光怎么扫描的啊?
使用扫描镜,位于激光的腔室内。
Q:ZG区有样机吗?能够在ZG做样品Demo吗?
目前ZG区还没有样机,不能在ZG做Demo,需要送到国外做Demo。
Q:你们实验室计划在国内什么时候有设备可以测试样品?
国内实验室已安装有Xe离子PFIB双束电镜,目前飞秒激光PFIB还没有具体安装时间表。
Q:感觉仪器发展太快了,公司有没有考虑开发一些模块用来升级前代的设备?
公司对以前的产品的升级都有规划,太老的产品可能不支持升级。
Q:离子束对钙钛矿材料损伤影响后面观测吗?
不影响。
Q:有做过delayering来切割样品的吗?
可以用PFIB做高速delayering。
Q:飞秒激光会产生热吗?
激光产生的能量传递给刻蚀产生的高温等离子体。等离子体在极短时间离开基体材料,热影响区极小。
Q:三维重构的平面面积一般是多大?太大了,数据量是不是会太大,对处理的电脑要求高?
平面面积可达1mm x 1mm,3D数据量比较大,做重构需要高一些的电脑配置。
Q:这个激光切割,是否会对样品升温。如果切割冷冻和生物样品,是否会升温?
飞秒激光刻蚀是“冷加工”,加工部位的热影响区极小,也可切割冷冻和生物样品。
Q:这款PFIB Laser 如何在Laser 加工时,完全避免污染,shutter protect能真正做到保护吗?
激光加工时可以用屏蔽器保护电子束和离子束免受污染。
Q:激光加工的热量是怎么散失的?
飞秒激光加工时高温等离子体,热量没有时间扩散到周边材料,就已经随等离子体进入真空,由排气系统抽出。激光的能量通过刻蚀产生的高温等离子体散失掉。
Q:加了Laser以后,样品腔里会不会污染很快呀?有没有什么办法可以清理?
切割掉的材料大部分随排气系统抽出,样品舱的污染可以通过集成的等离子清洗仪去除。
Q:请问它的自动化程度到什么程度?
利用Laser和PFIB都可实现3D分析,样品切割和图像采集及能谱EBSD分析可自动完成。利用PFIB中的AutoTEM软件可以实现自动TEM样品制备。三个步骤:粗切、提取转移、Z终减薄均可自动完成。
Q:AutoTEM 是可以全自动制样吗?夜间可以自动高通量测试,这部分针对不同样品需要做具体的设置吧?
AutoTEM可以实现全自动TEM样品制备,对不同的样品及制样要求可以在开始之前进行设置。
2020-06-11 -
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