频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,,应用于射频溅射,PECVD化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。瑞士COMET是您射频技术的**创新合作伙伴,提供射频电源、发
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