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详细介绍
2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 为手动型，配有 PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：
系列 | Zepto |
控制系统 | 手动型 PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 1.7~2.6L |
真空腔室 | 圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子 圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子 |
电极 | 单层或多层 |
样品支架 | 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani |
计时器 | 数字型 |
高频电流发生器 | 40 kHz: 功率 0 - 100 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W |
真空泵 | KASHIYAMA |
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
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