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蒸发源的排放分布特性可用于确定真空室中用于生产均匀厚度涂层的正确几何形状。 在大孔径衬底上或者在装载有许多小衬底的架子上生产均匀厚度的涂层可以通过对装有测试件的架子进行重复试验来完成。从一次试运行到...
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