Sievers Boron Ultra超纯水在线硼分析仪
500 RL 多点验证套装 — 标准iOS
InnovOx系列TOC分析仪校准套装 — 5,000 mg/L
低容量的氧化剂盒
500 RL 系统适用性套装 — 标准iOS

Sievers硼分析仪可用于去离子超纯水应用,实现对超低硼含量的连续自动在线监测。该分析仪每小时能够检测10个样品,具有15 ppt硼的检测极限(LOD)。Sievers硼分析仪设计用于满足设备管理人员、去离子水工程师和晶圆制造工程师的需求。
连续在线监测低至15 ppt的硼
多流路选项——最多四个样品流
丰富的输出选择——四个独立的4-20 mA输出,一个独立的RS-232,一个通用并行打印机端口,两个报警输出和四个独立的二进制输出
最少的维护与耗材需求
配件包包含安装所需的配件
半导体超纯工艺水
超纯水电力应用
运行规格 | |
|---|---|
| 浓度范围 | 0.015至20 ppb B |
| 检测限(LOD) | 0.015 ppb B |
| 准确度 | ± 0.01 ppb B <0.05 ppb B ± 15% >0.05 ppb B |
| 精确度 | ± 3%或0.005 ppb B(以较高者为准) |
| 最小样品 电阻率 | 15 megaohms–cm |
| 样品温度 | 15°-40°C |
| 样品流速 | 0.1 -0.5 L/分钟 |
| 环境温度 | 10°C–40°C |
| 样品压力 | 20-100 psig(138-689 kPa) |
| 校准稳定性 | 通常12个月 |
| 样品颗粒 | 15微米样品预过滤 |
| 废物 | 重力排放(无背压) |
仪器规格 | |
| 输入 | 5个隔离二进制输入 |
| 输出 | 4个独立4-20 mA输出,1个独立RS-232,1个通用并行打印机端口,2个报警输出,4个独立二进制输出 |
| 尺寸 | 20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸(53 x 44 x 31 cm) |
| 重量 | 48 lbs(22kg) |
| 认证 | CE(点击此处获取符合性声明) |
耗材 | |
| 硼试剂 | 90天(12分钟取样率) 45天(6.5分钟取样率) |
| 试剂柱 | 12个月 |
| 零柱 | 12个月 |
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