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SPOS技术在半导体CMP制程中的应用

发布:上海奥法美嘉生物科技有限公司
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使用单粒子光学传感技术进行粒径分析,具有高分辨率和极ng确度的特点,将其与激光衍射等整体检测技术进行比较,应用实例,说明了单粒子光学传感技术对半导体CMP制程的必要性 光阻法颗粒计数器

2015-12-29
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